経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 年報
表 - 平成19年 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 製品年表
統計表ID: 0003015270
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 200901
データ件数: 874件
公開日: 2010-04-27
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計項目（機械） | 品目（機械） | 年月 | 値 |
|---|---|---|---|
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2003年 | 359 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2004年 | 504 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2005年 | 522 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2006年 | 677 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年 | 761 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2005年度 | 563 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2006年度 | 711 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年1～3月期 | 219 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年4～6月期 | 150 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年7～9月期 | 213 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年10～12月期 | 179 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年1月 | 61 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年2月 | 62 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年3月 | 96 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年4月 | 51 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年5月 | 42 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年6月 | 57 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年7月 | 80 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年8月 | 59 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年9月 | 74 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年10月 | 69 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年11月 | 54 |
| 生産数量 | ウエハ製造用装置 | 2007年12月 | 56 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2003年 | 3022 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2004年 | 4498 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2005年 | 4038 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2006年 | 4888 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年 | 5294 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2005年度 | 3949 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2006年度 | 5189 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年1～3月期 | 1451 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年4～6月期 | 1390 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年7～9月期 | 1343 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年10～12月期 | 1110 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年1月 | 411 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年2月 | 492 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年3月 | 548 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年4月 | 410 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年5月 | 454 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年6月 | 526 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年7月 | 521 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年8月 | 471 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年9月 | 351 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年10月 | 357 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年11月 | 367 |
| 生産数量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年12月 | 386 |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2003年 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2004年 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2005年 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2006年 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2005年度 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2006年度 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年1～3月期 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年4～6月期 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年7～9月期 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年10～12月期 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年1月 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年2月 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年3月 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年4月 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年5月 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年6月 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年7月 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年8月 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年9月 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年10月 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年11月 | X |
| 生産数量 | 露光・描画用装置 | 2007年12月 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2003年 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2004年 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2005年 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2006年 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2005年度 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2006年度 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年1～3月期 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年4～6月期 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年7～9月期 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年10～12月期 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年1月 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年2月 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年3月 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年4月 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年5月 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年6月 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年7月 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年8月 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年9月 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年10月 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年11月 | X |
| 生産数量 | エッチング装置 | 2007年12月 | X |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2003年 | 806 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2004年 | 1217 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2005年 | 1234 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2006年 | 1643 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年 | 1801 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2005年度 | 1184 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2006年度 | 1784 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年1～3月期 | 470 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年4～6月期 | 474 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年7～9月期 | 408 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年10～12月期 | 449 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年1月 | 147 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年2月 | 157 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年3月 | 166 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年4月 | 155 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年5月 | 153 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年6月 | 166 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年7月 | 166 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年8月 | 158 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年9月 | 84 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年10月 | 146 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年11月 | 139 |
| 生産数量 | 薄膜形成装置 | 2007年12月 | 164 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2003年 | 1587 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2004年 | 2351 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2005年 | 1994 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2006年 | 2392 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年 | 2538 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2005年度 | 1965 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2006年度 | 2541 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年1～3月期 | 749 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年4～6月期 | 677 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年7～9月期 | 668 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年10～12月期 | 444 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年1月 | 206 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年2月 | 255 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年3月 | 288 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年4月 | 190 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年5月 | 220 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年6月 | 267 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年7月 | 264 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年8月 | 220 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年9月 | 184 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年10月 | 138 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年11月 | 152 |
| 生産数量 | その他の装置 | 2007年12月 | 154 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2003年 | 7421 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2004年 | 10332 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2005年 | 9478 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2006年 | 13995 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年 | 13480 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2005年度 | 10820 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2006年度 | 13735 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年1～3月期 | 3264 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年4～6月期 | 3039 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年7～9月期 | 3823 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年10～12月期 | 3354 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年1月 | 815 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年2月 | 932 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年3月 | 1517 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年4月 | 812 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年5月 | 991 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年6月 | 1236 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年7月 | 1271 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年8月 | 1242 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年9月 | 1310 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年10月 | 1157 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年11月 | 1082 |
| 生産数量 | 組立用装置 | 2007年12月 | 1115 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2003年 | 6139 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2004年 | 10776 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2005年 | 9611 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2006年 | 13253 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年 | 10929 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2005年度 | 10522 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2006年度 | 12913 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年1～3月期 | 2836 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年4～6月期 | 3037 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年7～9月期 | 2691 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年10～12月期 | 2365 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年1月 | 898 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年2月 | 826 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年3月 | 1112 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年4月 | 907 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年5月 | 1008 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年6月 | 1122 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年7月 | 917 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年8月 | 892 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年9月 | 882 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年10月 | 802 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年11月 | 820 |
| 生産数量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年12月 | 743 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2003年 | 185 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2004年 | 261 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2005年 | 199 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2006年 | 272 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年 | 193 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2005年度 | 198 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2006年度 | 271 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年1～3月期 | 54 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年4～6月期 | 46 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年7～9月期 | 48 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年10～12月期 | 45 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年1月 | 20 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年2月 | 9 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年3月 | 25 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年4月 | 11 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年5月 | 12 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年6月 | 23 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年7月 | 17 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年8月 | 13 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年9月 | 18 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年10月 | 11 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年11月 | 10 |
| 生産数量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年12月 | 24 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2003年 | 497 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2004年 | 741 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2005年 | 906 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2006年 | 1238 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年 | 723 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2005年度 | 949 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2006年度 | 1090 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年1～3月期 | 196 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年4～6月期 | 218 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年7～9月期 | 162 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年10～12月期 | 147 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年1月 | 55 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年2月 | 57 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年3月 | 84 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年4月 | 76 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年5月 | 69 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年6月 | 73 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年7月 | 62 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年8月 | 51 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年9月 | 49 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年10月 | 37 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年11月 | 51 |
| 生産数量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年12月 | 59 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2003年 | 271 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2004年 | 517 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2005年 | 423 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2006年 | 587 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年 | 468 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2005年度 | 448 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2006年度 | 557 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年1～3月期 | 134 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年4～6月期 | 94 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年7～9月期 | 121 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年10～12月期 | 119 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年1月 | 28 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年2月 | 38 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年3月 | 68 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年4月 | 22 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年5月 | 30 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年6月 | 42 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年7月 | 47 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年8月 | 44 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年9月 | 30 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年10月 | 22 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年11月 | 46 |
| 生産数量 | パネル工程用装置 | 2007年12月 | 51 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2003年 | 1025 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2004年 | 1207 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2005年 | 1615 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2006年 | 1524 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年 | 552 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2005年度 | 1650 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2006年度 | 1200 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年1～3月期 | 141 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年4～6月期 | 178 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年7～9月期 | 148 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年10～12月期 | 85 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年1月 | 22 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年2月 | 36 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年3月 | 83 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年4月 | 35 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年5月 | 88 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年6月 | 55 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年7月 | 32 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年8月 | 27 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年9月 | 89 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年10月 | 18 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年11月 | 32 |
| 生産数量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年12月 | 35 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2003年 | 1409.415 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2004年 | 2775.435 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2005年 | 3098.34 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2006年 | 3687.773 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年 | 4209.585 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2005年度 | 3383.405 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2006年度 | 4037.438 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年1～3月期 | 1223.61 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年4～6月期 | 937.65 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年7～9月期 | 1084.565 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年10～12月期 | 963.76 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年1月 | 406.5 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年2月 | 361.15 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年3月 | 455.96 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年4月 | 321.4 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年5月 | 329.4 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年6月 | 286.85 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年7月 | 379.855 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年8月 | 264.67 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年9月 | 440.04 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年10月 | 350.32 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年11月 | 287.72 |
| 生産重量 | ウエハ製造用装置 | 2007年12月 | 325.72 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2003年 | 13715.471 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2004年 | 23731.286 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2005年 | 20994.671 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2006年 | 25971.152 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年 | 26431.068 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2005年度 | 20854.778 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2006年度 | 27163.189 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年1～3月期 | 7221.582 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年4～6月期 | 6963.087 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年7～9月期 | 6801.594 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年10～12月期 | 5444.805 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年1月 | 2151.904 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年2月 | 2183.358 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年3月 | 2886.32 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年4月 | 1965.778 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年5月 | 2318.856 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年6月 | 2678.453 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年7月 | 2614.73 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年8月 | 2435.634 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年9月 | 1751.23 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年10月 | 1635.5 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年11月 | 1808.616 |
| 生産重量 | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年12月 | 2000.689 |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2003年 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2004年 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2005年 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2006年 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2005年度 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2006年度 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年1～3月期 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年4～6月期 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年7～9月期 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年10～12月期 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年1月 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年2月 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年3月 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年4月 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年5月 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年6月 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年7月 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年8月 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年9月 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年10月 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年11月 | X |
| 生産重量 | 露光・描画用装置 | 2007年12月 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2003年 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2004年 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2005年 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2006年 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2005年度 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2006年度 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年1～3月期 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年4～6月期 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年7～9月期 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年10～12月期 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年1月 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年2月 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年3月 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年4月 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年5月 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年6月 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年7月 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年8月 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年9月 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年10月 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年11月 | X |
| 生産重量 | エッチング装置 | 2007年12月 | X |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2003年 | 2159.781 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2004年 | 3155.925 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2005年 | 3363.024 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2006年 | 3974.349 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年 | 4651.678 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2005年度 | 3144.407 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2006年度 | 4310.607 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年1～3月期 | 1147.836 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年4～6月期 | 1226.279 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年7～9月期 | 1034.999 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年10～12月期 | 1242.564 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年1月 | 349.613 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年2月 | 365.646 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年3月 | 432.577 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年4月 | 387.57 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年5月 | 396.678 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年6月 | 442.031 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年7月 | 424.54 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年8月 | 396.586 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年9月 | 213.873 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年10月 | 334.26 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年11月 | 417.123 |
| 生産重量 | 薄膜形成装置 | 2007年12月 | 491.181 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2003年 | 9457.222 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2004年 | 16605.049 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2005年 | 13842.587 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2006年 | 16977.304 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年 | 18861.39 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2005年度 | 13941.151 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2006年度 | 18028.153 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年1～3月期 | 5341.296 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年4～6月期 | 5015.328 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年7～9月期 | 4954.645 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年10～12月期 | 3550.121 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年1月 | 1587.451 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年2月 | 1586.382 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年3月 | 2167.463 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年4月 | 1387.308 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年5月 | 1674.318 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年6月 | 1953.702 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年7月 | 1901.89 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年8月 | 1752.568 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年9月 | 1300.187 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年10月 | 1100.17 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年11月 | 1166.503 |
| 生産重量 | その他の装置 | 2007年12月 | 1283.448 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2003年 | 6475.453 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2004年 | 10442.061 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2005年 | 8500.794 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2006年 | 13288.658 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年 | 12981.929 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2005年度 | 9989.866 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2006年度 | 12999.409 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年1～3月期 | 3299.917 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年4～6月期 | 2965.088 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年7～9月期 | 3514.23 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年10～12月期 | 3202.694 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年1月 | 933.183 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年2月 | 804.343 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年3月 | 1562.391 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年4月 | 837.713 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年5月 | 955.92 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年6月 | 1171.455 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年7月 | 1057.415 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年8月 | 1218.82 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年9月 | 1237.995 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年10月 | 1135.13 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年11月 | 1093.826 |
| 生産重量 | 組立用装置 | 2007年12月 | 973.738 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2003年 | 3903.134 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2004年 | 6480.262 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2005年 | 6288.116 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2006年 | 8640.544 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年 | 8633.245 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2005年度 | 7206.283 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2006年度 | 8550.797 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年1～3月期 | 2237.712 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年4～6月期 | 2429.612 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年7～9月期 | 2131.615 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年10～12月期 | 1834.306 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年1月 | 716.851 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年2月 | 686.934 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年3月 | 833.927 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年4月 | 800.114 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年5月 | 745.807 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年6月 | 883.691 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年7月 | 770.17 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年8月 | 650.323 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年9月 | 711.122 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年10月 | 595.927 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年11月 | 593.618 |
| 生産重量 | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年12月 | 644.761 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2003年 | 922.7 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2004年 | 1558.95 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2005年 | 1256.55 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2006年 | 1561.795 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年 | 1684.846 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2005年度 | 1288.25 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2006年度 | 1482.175 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年1～3月期 | 344.98 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年4～6月期 | 343.746 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年7～9月期 | 499.13 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年10～12月期 | 496.99 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年1月 | 151.6 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年2月 | 44.24 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年3月 | 149.14 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年4月 | 77.546 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年5月 | 106.25 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年6月 | 159.95 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年7月 | 79.35 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年8月 | 184.38 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年9月 | 235.4 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年10月 | 32.23 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年11月 | 24.3 |
| 生産重量 | ガラス基板製造用装置 | 2007年12月 | 440.46 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2003年 | 6477.911 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2004年 | 12295.457 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2005年 | 12373.293 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2006年 | 17635.32 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年 | 13054.096 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2005年度 | 12777.013 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2006年度 | 17378.129 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年1～3月期 | 4083.694 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年4～6月期 | 3548.719 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年7～9月期 | 3466.769 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年10～12月期 | 1954.914 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年1月 | 1286.795 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年2月 | 1167.034 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年3月 | 1629.865 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年4月 | 1037.875 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年5月 | 1205.259 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年6月 | 1305.585 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年7月 | 1064.441 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年8月 | 1135.811 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年9月 | 1266.517 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年10月 | 299.02 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年11月 | 662.171 |
| 生産重量 | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年12月 | 993.723 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2003年 | 2775.65 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2004年 | 5823.947 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2005年 | 5886.887 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2006年 | 8791.23 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年 | 6873.265 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2005年度 | 5781.481 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2006年度 | 8724.671 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年1～3月期 | 1562.987 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年4～6月期 | 2080.448 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年7～9月期 | 1470.82 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年10～12月期 | 1759.01 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年1月 | 236.65 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年2月 | 500.467 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年3月 | 825.87 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年4月 | 355.4 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年5月 | 529.708 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年6月 | 1195.34 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年7月 | 532.51 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年8月 | 418.25 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年9月 | 520.06 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年10月 | 391.795 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年11月 | 831.285 |
| 生産重量 | パネル工程用装置 | 2007年12月 | 535.93 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2003年 | 5106.906 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2004年 | 7513.454 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2005年 | 7607.845 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2006年 | 9273.9 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年 | 6980.25 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2005年度 | 8096.48 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2006年度 | 9561.35 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年1～3月期 | 2885.81 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年4～6月期 | 2440.82 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年7～9月期 | 629.74 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年10～12月期 | 1023.88 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年1月 | 273.8 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年2月 | 880.46 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年3月 | 1731.55 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年4月 | 365.18 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年5月 | 1222.89 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年6月 | 852.75 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年7月 | 166.7 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年8月 | 92.4 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年9月 | 370.64 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年10月 | 79.05 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年11月 | 392.57 |
| 生産重量 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年12月 | 552.26 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2003年 | 977026 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2004年 | 1637415 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2005年 | 1616204 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2006年 | 1889406 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年 | 1864143 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2005年度 | 1619268 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2006年度 | 1917756 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年1～3月期 | 498915 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年4～6月期 | 485695 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年7～9月期 | 485235 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年10～12月期 | 394298 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年1月 | 151672 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年2月 | 143188 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年3月 | 204055 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年4月 | 132465 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年5月 | 159234 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年6月 | 193996 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年7月 | 175483 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年8月 | 159796 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年9月 | 149956 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年10月 | 120028 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年11月 | 124200 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 2007年12月 | 150070 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2003年 | 714355 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2004年 | 1150574 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2005年 | 1112622 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2006年 | 1309951 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年 | 1504209 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2005年度 | 1126428 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2006年度 | 1361900 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年1～3月期 | 381885 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年4～6月期 | 388167 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年7～9月期 | 400756 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年10～12月期 | 333401 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年1月 | 114439 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年2月 | 114088 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年3月 | 153358 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年4月 | 109304 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年5月 | 127901 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年6月 | 150962 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年7月 | 145692 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年8月 | 136984 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年9月 | 118080 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年10月 | 109241 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年11月 | 104348 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置 | 2007年12月 | 119812 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2003年 | 23356 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2004年 | 36343 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2005年 | 36733 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2006年 | 46880 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年 | 51420 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2005年度 | 38393 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2006年度 | 49103 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年1～3月期 | 14134 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年4～6月期 | 10259 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年7～9月期 | 15290 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年10～12月期 | 11737 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年1月 | 4525 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年2月 | 3377 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年3月 | 6232 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年4月 | 3251 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年5月 | 3185 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年6月 | 3823 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年7月 | 5475 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年8月 | 3531 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年9月 | 6284 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年10月 | 4173 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年11月 | 3807 |
| 生産金額（百万円） | ウエハ製造用装置 | 2007年12月 | 3757 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2003年 | 511987 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2004年 | 836588 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2005年 | 814784 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2006年 | 920827 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年 | 1105965 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2005年度 | 799041 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2006年度 | 967656 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年1～3月期 | 273614 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年4～6月期 | 286985 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年7～9月期 | 294886 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年10～12月期 | 250480 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年1月 | 81082 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年2月 | 85510 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年3月 | 107022 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年4月 | 80267 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年5月 | 95859 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年6月 | 110859 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年7月 | 110425 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年8月 | 104663 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年9月 | 79798 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年10月 | 81378 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年11月 | 78017 |
| 生産金額（百万円） | ウエハプロセス用処理装置 | 2007年12月 | 91085 |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2003年 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2004年 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2005年 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2006年 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2005年度 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2006年度 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年1～3月期 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年4～6月期 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年7～9月期 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年10～12月期 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年1月 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年2月 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年3月 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年4月 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年5月 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年6月 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年7月 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年8月 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年9月 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年10月 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年11月 | X |
| 生産金額（百万円） | 露光・描画用装置 | 2007年12月 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2003年 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2004年 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2005年 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2006年 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2005年度 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2006年度 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年1～3月期 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年4～6月期 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年7～9月期 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年10～12月期 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年1月 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年2月 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年3月 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年4月 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年5月 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年6月 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年7月 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年8月 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年9月 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年10月 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年11月 | X |
| 生産金額（百万円） | エッチング装置 | 2007年12月 | X |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2003年 | 93743 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2004年 | 132391 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2005年 | 132178 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2006年 | 166911 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年 | 223206 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2005年度 | 129583 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2006年度 | 183702 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年1～3月期 | 53022 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年4～6月期 | 59826 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年7～9月期 | 54892 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年10～12月期 | 55466 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年1月 | 16240 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年2月 | 15894 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年3月 | 20888 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年4月 | 18579 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年5月 | 19505 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年6月 | 21742 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年7月 | 21879 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年8月 | 21726 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年9月 | 11287 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年10月 | 17221 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年11月 | 17352 |
| 生産金額（百万円） | 薄膜形成装置 | 2007年12月 | 20893 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2003年 | 205364 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2004年 | 375353 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2005年 | 343270 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2006年 | 406794 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年 | 439223 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2005年度 | 338664 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2006年度 | 428455 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年1～3月期 | 123952 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年4～6月期 | 119675 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年7～9月期 | 113492 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年10～12月期 | 82104 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年1月 | 34393 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年2月 | 41087 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年3月 | 48472 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年4月 | 32922 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年5月 | 41088 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年6月 | 45665 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年7月 | 42785 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年8月 | 38257 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年9月 | 32450 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年10月 | 24376 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年11月 | 27940 |
| 生産金額（百万円） | その他の装置 | 2007年12月 | 29788 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2003年 | 88889 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2004年 | 129178 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2005年 | 108635 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2006年 | 153967 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年 | 153225 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2005年度 | 123561 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2006年度 | 152807 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年1～3月期 | 39931 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年4～6月期 | 36484 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年7～9月期 | 41275 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年10～12月期 | 35535 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年1月 | 11204 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年2月 | 9470 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年3月 | 19257 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年4月 | 10444 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年5月 | 11438 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年6月 | 14602 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年7月 | 13605 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年8月 | 13515 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年9月 | 14155 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年10月 | 12250 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年11月 | 11514 |
| 生産金額（百万円） | 組立用装置 | 2007年12月 | 11771 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2003年 | 90123 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2004年 | 148465 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2005年 | 152470 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2006年 | 188277 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年 | 193599 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2005年度 | 165433 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2006年度 | 192334 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年1～3月期 | 54206 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年4～6月期 | 54439 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年7～9月期 | 49305 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年10～12月期 | 35649 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年1月 | 17628 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年2月 | 15731 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年3月 | 20847 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年4月 | 15342 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年5月 | 17419 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年6月 | 21678 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年7月 | 16187 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年8月 | 15275 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年9月 | 17843 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年10月 | 11440 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年11月 | 11010 |
| 生産金額（百万円） | 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年12月 | 13199 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2003年 | 60501 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2004年 | 130875 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2005年 | 133927 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2006年 | 163093 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年 | 90741 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2005年度 | 138052 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2006年度 | 155355 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年1～3月期 | 33277 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年4～6月期 | 19141 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年7～9月期 | 20224 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年10～12月期 | 18099 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年1月 | 17052 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年2月 | 5173 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年3月 | 11052 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年4月 | 2944 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年5月 | 6025 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年6月 | 10172 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年7月 | 6517 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年8月 | 3427 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年9月 | 10280 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年10月 | 4260 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年11月 | 2131 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板製造用装置 | 2007年12月 | 11708 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2003年 | 113397 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2004年 | 174818 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2005年 | 206930 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2006年 | 207389 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年 | 146653 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2005年度 | 193295 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2006年度 | 206420 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年1～3月期 | 49887 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年4～6月期 | 41103 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年7～9月期 | 35620 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年10～12月期 | 20043 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年1月 | 14012 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年2月 | 15073 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年3月 | 20802 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年4月 | 12614 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年5月 | 13230 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年6月 | 15259 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年7月 | 13639 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年8月 | 11117 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年9月 | 10864 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年10月 | 1994 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年11月 | 7517 |
| 生産金額（百万円） | ガラス基板プロセス用処理装置 | 2007年12月 | 10532 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2003年 | 24696 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2004年 | 57407 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2005年 | 56953 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2006年 | 81931 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年 | 66922 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2005年度 | 57803 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2006年度 | 80834 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年1～3月期 | 15524 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年4～6月期 | 20724 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年7～9月期 | 15065 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年10～12月期 | 15609 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年1月 | 3648 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年2月 | 5068 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年3月 | 6808 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年4月 | 3859 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年5月 | 5481 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年6月 | 11384 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年7月 | 6367 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年8月 | 5271 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年9月 | 3427 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年10月 | 3431 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年11月 | 7948 |
| 生産金額（百万円） | パネル工程用装置 | 2007年12月 | 4230 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2003年 | 64077 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2004年 | 123741 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2005年 | 105772 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2006年 | 127042 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年 | 55618 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2005年度 | 103690 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2006年度 | 113247 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年1～3月期 | 18342 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年4～6月期 | 16560 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年7～9月期 | 13570 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年10～12月期 | 7146 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年1月 | 2521 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年2月 | 3786 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年3月 | 12035 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年4月 | 3744 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年5月 | 6597 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年6月 | 6219 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年7月 | 3268 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年8月 | 2997 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年9月 | 7305 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年10月 | 1102 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年11月 | 2256 |
| 生産金額（百万円） | フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 2007年12月 | 3788 |