経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 確報（１）生産・出荷・在庫統計
表 - 製品月表 ５７．半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003052075
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201001
データ件数: 42件
公開日: 2011-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計品目１-２(機械) | 統計項目１-２(機械) | 値 |
|---|---|---|
| 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 65137 |
| 半導体製造装置 | 生産 金額(百万円) | 48056 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 数量(台) | 20 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 重量(t) | 149 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 1363 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 181 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 886 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 32578 |
| 露光・描画用装置 | 生産 数量(台) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 重量(t) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| エッチング装置 | 生産 数量(台) | X |
| エッチング装置 | 生産 重量(t) | X |
| エッチング装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| 薄膜形成装置 | 生産 数量(台) | 74 |
| 薄膜形成装置 | 生産 重量(t) | 217 |
| 薄膜形成装置 | 生産 金額(百万円) | 9685 |
| その他の装置 | 生産 数量(台) | 82 |
| その他の装置 | 生産 重量(t) | 577 |
| その他の装置 | 生産 金額(百万円) | 16181 |
| 組立用装置 | 生産 数量(台) | 716 |
| 組立用装置 | 生産 重量(t) | 516 |
| 組立用装置 | 生産 金額(百万円) | 5809 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 631 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 625 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 8306 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 17081 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 数量(台) | 4 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 重量(t) | 7 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 338 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 38 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 831 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 10526 |
| パネル工程用装置 | 生産 数量(台) | 27 |
| パネル工程用装置 | 生産 重量(t) | 402 |
| パネル工程用装置 | 生産 金額(百万円) | 2927 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 23 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 165 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 3290 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 数量(台) | 307 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 重量(t) | … |
| 半導体・IC測定器 | 生産 金額(百万円) | 4930 |