経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 確報（１）生産・出荷・在庫統計
表 - 製品月表 ５７．半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003052842
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201002
データ件数: 42件
公開日: 2011-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計品目１-２(機械) | 統計項目１-２(機械) | 値 |
|---|---|---|
| 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 96632 |
| 半導体製造装置 | 生産 金額(百万円) | 69459 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 数量(台) | 20 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 重量(t) | 143 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 1340 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 206 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 954 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 44647 |
| 露光・描画用装置 | 生産 数量(台) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 重量(t) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| エッチング装置 | 生産 数量(台) | X |
| エッチング装置 | 生産 重量(t) | X |
| エッチング装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| 薄膜形成装置 | 生産 数量(台) | 108 |
| 薄膜形成装置 | 生産 重量(t) | 331 |
| 薄膜形成装置 | 生産 金額(百万円) | 12417 |
| その他の装置 | 生産 数量(台) | 60 |
| その他の装置 | 生産 重量(t) | 491 |
| その他の装置 | 生産 金額(百万円) | 12533 |
| 組立用装置 | 生産 数量(台) | 803 |
| 組立用装置 | 生産 重量(t) | 651 |
| 組立用装置 | 生産 金額(百万円) | 6840 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 866 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 976 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 16632 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 27173 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 数量(台) | 9 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 重量(t) | 64 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 7423 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 47 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 941 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 14484 |
| パネル工程用装置 | 生産 数量(台) | 25 |
| パネル工程用装置 | 生産 重量(t) | 237 |
| パネル工程用装置 | 生産 金額(百万円) | 2328 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 24 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 220 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 2938 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 数量(台) | 712 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 重量(t) | … |
| 半導体・IC測定器 | 生産 金額(百万円) | 7047 |