経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 確報（１）生産・出荷・在庫統計
表 - 製品月表 ５７．半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003055019
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201003
データ件数: 42件
公開日: 2011-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計品目１-２(機械) | 統計項目１-２(機械) | 値 |
|---|---|---|
| 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 123330 |
| 半導体製造装置 | 生産 金額(百万円) | 88915 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 数量(台) | 54 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 重量(t) | 339 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 2822 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 283 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 1461 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 53377 |
| 露光・描画用装置 | 生産 数量(台) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 重量(t) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| エッチング装置 | 生産 数量(台) | X |
| エッチング装置 | 生産 重量(t) | X |
| エッチング装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| 薄膜形成装置 | 生産 数量(台) | 135 |
| 薄膜形成装置 | 生産 重量(t) | 423 |
| 薄膜形成装置 | 生産 金額(百万円) | 15296 |
| その他の装置 | 生産 数量(台) | 96 |
| その他の装置 | 生産 重量(t) | 821 |
| その他の装置 | 生産 金額(百万円) | 20288 |
| 組立用装置 | 生産 数量(台) | 1098 |
| 組立用装置 | 生産 重量(t) | 881 |
| 組立用装置 | 生産 金額(百万円) | 10694 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 939 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 931 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 22022 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 34415 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 数量(台) | 12 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 重量(t) | 94 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 9990 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 54 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 1757 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 16039 |
| パネル工程用装置 | 生産 数量(台) | 29 |
| パネル工程用装置 | 生産 重量(t) | 439 |
| パネル工程用装置 | 生産 金額(百万円) | 3594 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 59 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 1076 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 4792 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 数量(台) | 1587 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 重量(t) | … |
| 半導体・IC測定器 | 生産 金額(百万円) | 11152 |