経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 確報（１）生産・出荷・在庫統計
表 - 製品月表 ５７．半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003055558
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201004
データ件数: 42件
公開日: 2011-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計品目１-２(機械) | 統計項目１-２(機械) | 値 |
|---|---|---|
| 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 105310 |
| 半導体製造装置 | 生産 金額(百万円) | 70055 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 数量(台) | 28 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 重量(t) | 216 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 1776 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 204 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 1078 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 43626 |
| 露光・描画用装置 | 生産 数量(台) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 重量(t) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| エッチング装置 | 生産 数量(台) | X |
| エッチング装置 | 生産 重量(t) | X |
| エッチング装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| 薄膜形成装置 | 生産 数量(台) | 91 |
| 薄膜形成装置 | 生産 重量(t) | 264 |
| 薄膜形成装置 | 生産 金額(百万円) | 10327 |
| その他の装置 | 生産 数量(台) | 87 |
| その他の装置 | 生産 重量(t) | 728 |
| その他の装置 | 生産 金額(百万円) | 20833 |
| 組立用装置 | 生産 数量(台) | 1240 |
| 組立用装置 | 生産 重量(t) | 807 |
| 組立用装置 | 生産 金額(百万円) | 10280 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 799 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 803 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 14373 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 35255 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 数量(台) | 17 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 重量(t) | 128 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 8556 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 76 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 1514 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 19678 |
| パネル工程用装置 | 生産 数量(台) | 35 |
| パネル工程用装置 | 生産 重量(t) | 236 |
| パネル工程用装置 | 生産 金額(百万円) | 2090 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 32 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 722 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 4931 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 数量(台) | 726 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 重量(t) | … |
| 半導体・IC測定器 | 生産 金額(百万円) | 7755 |