経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 確報（１）生産・出荷・在庫統計
表 - 製品月表 ５７．半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003055720
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201005
データ件数: 42件
公開日: 2011-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計品目１-２(機械) | 統計項目１-２(機械) | 値 |
|---|---|---|
| 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 83418 |
| 半導体製造装置 | 生産 金額(百万円) | 59927 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 数量(台) | 41 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 重量(t) | 298 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 2636 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 208 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 1018 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 36640 |
| 露光・描画用装置 | 生産 数量(台) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 重量(t) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| エッチング装置 | 生産 数量(台) | X |
| エッチング装置 | 生産 重量(t) | X |
| エッチング装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| 薄膜形成装置 | 生産 数量(台) | 94 |
| 薄膜形成装置 | 生産 重量(t) | 277 |
| 薄膜形成装置 | 生産 金額(百万円) | 9875 |
| その他の装置 | 生産 数量(台) | 98 |
| その他の装置 | 生産 重量(t) | 688 |
| その他の装置 | 生産 金額(百万円) | 18310 |
| 組立用装置 | 生産 数量(台) | 1023 |
| 組立用装置 | 生産 重量(t) | 833 |
| 組立用装置 | 生産 金額(百万円) | 8875 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 789 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 760 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 11776 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 23491 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 数量(台) | 12 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 重量(t) | 86 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 6982 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 68 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 977 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 9870 |
| パネル工程用装置 | 生産 数量(台) | 33 |
| パネル工程用装置 | 生産 重量(t) | 369 |
| パネル工程用装置 | 生産 金額(百万円) | 2450 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 48 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 621 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 4189 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 数量(台) | 2084 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 重量(t) | … |
| 半導体・IC測定器 | 生産 金額(百万円) | 8156 |