経済産業省生産動態統計調査

経済産業省生産動態統計 機械統計 確報(1)生産・出荷・在庫統計

表 - 製品月表 57.半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003055720
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201005
データ件数: 42件
公開日: 2011-03-31
最終更新日: 2023-04-25

※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。

統計品目1-2(機械) 統計項目1-2(機械)
半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 生産 金額(百万円) 83418
 半導体製造装置 生産 金額(百万円) 59927
  ウエハ製造用装置 生産 数量(台) 41
  ウエハ製造用装置 生産 重量(t) 298
  ウエハ製造用装置 生産 金額(百万円) 2636
  ウエハプロセス用処理装置 生産 数量(台) 208
  ウエハプロセス用処理装置 生産 重量(t) 1018
  ウエハプロセス用処理装置 生産 金額(百万円) 36640
   露光・描画用装置 生産 数量(台) X
   露光・描画用装置 生産 重量(t) X
   露光・描画用装置 生産 金額(百万円) X
   エッチング装置 生産 数量(台) X
   エッチング装置 生産 重量(t) X
   エッチング装置 生産 金額(百万円) X
   薄膜形成装置 生産 数量(台) 94
   薄膜形成装置 生産 重量(t) 277
   薄膜形成装置 生産 金額(百万円) 9875
   その他の装置 生産 数量(台) 98
   その他の装置 生産 重量(t) 688
   その他の装置 生産 金額(百万円) 18310
  組立用装置 生産 数量(台) 1023
  組立用装置 生産 重量(t) 833
  組立用装置 生産 金額(百万円) 8875
  半導体製造装置用関連装置(マスク・レチクル製造用装置を含む) 生産 数量(台) 789
  半導体製造装置用関連装置(マスク・レチクル製造用装置を含む) 生産 重量(t) 760
  半導体製造装置用関連装置(マスク・レチクル製造用装置を含む) 生産 金額(百万円) 11776
 フラットパネル・ディスプレイ製造装置 生産 金額(百万円) 23491
  ガラス基板製造用装置 生産 数量(台) 12
  ガラス基板製造用装置 生産 重量(t) 86
  ガラス基板製造用装置 生産 金額(百万円) 6982
  ガラス基板プロセス用処理装置 生産 数量(台) 68
  ガラス基板プロセス用処理装置 生産 重量(t) 977
  ガラス基板プロセス用処理装置 生産 金額(百万円) 9870
  パネル工程用装置 生産 数量(台) 33
  パネル工程用装置 生産 重量(t) 369
  パネル工程用装置 生産 金額(百万円) 2450
  フラットパネル・ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク・レチクル製造用装置を含む) 生産 数量(台) 48
  フラットパネル・ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク・レチクル製造用装置を含む) 生産 重量(t) 621
  フラットパネル・ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク・レチクル製造用装置を含む) 生産 金額(百万円) 4189
半導体・IC測定器 生産 数量(台) 2084
半導体・IC測定器 生産 重量(t)
半導体・IC測定器 生産 金額(百万円) 8156