経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 確報（１）生産・出荷・在庫統計
表 - 製品月表 ５７．半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003055789
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201006
データ件数: 42件
公開日: 2011-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計品目１-２(機械) | 統計項目１-２(機械) | 値 |
|---|---|---|
| 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 105798 |
| 半導体製造装置 | 生産 金額(百万円) | 80346 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 数量(台) | 35 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 重量(t) | 160 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 1548 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 236 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 1214 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 53336 |
| 露光・描画用装置 | 生産 数量(台) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 重量(t) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| エッチング装置 | 生産 数量(台) | X |
| エッチング装置 | 生産 重量(t) | X |
| エッチング装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| 薄膜形成装置 | 生産 数量(台) | 90 |
| 薄膜形成装置 | 生産 重量(t) | 254 |
| 薄膜形成装置 | 生産 金額(百万円) | 9896 |
| その他の装置 | 生産 数量(台) | 99 |
| その他の装置 | 生産 重量(t) | 803 |
| その他の装置 | 生産 金額(百万円) | 17304 |
| 組立用装置 | 生産 数量(台) | 1361 |
| 組立用装置 | 生産 重量(t) | 1066 |
| 組立用装置 | 生産 金額(百万円) | 10854 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 856 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 857 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 14608 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 25452 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 数量(台) | 8 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 重量(t) | 67 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 4046 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 31 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 421 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 11534 |
| パネル工程用装置 | 生産 数量(台) | 56 |
| パネル工程用装置 | 生産 重量(t) | 433 |
| パネル工程用装置 | 生産 金額(百万円) | 4726 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 61 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 696 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 5146 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 数量(台) | 2498 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 重量(t) | … |
| 半導体・IC測定器 | 生産 金額(百万円) | 12670 |