経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 確報（１）生産・出荷・在庫統計
表 - 製品月表 ５７．半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003055923
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201007
データ件数: 42件
公開日: 2011-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計品目１-２(機械) | 統計項目１-２(機械) | 値 |
|---|---|---|
| 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 113566 |
| 半導体製造装置 | 生産 金額(百万円) | 81419 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 数量(台) | 48 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 重量(t) | 236 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 2129 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 230 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 1221 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 55617 |
| 露光・描画用装置 | 生産 数量(台) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 重量(t) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| エッチング装置 | 生産 数量(台) | X |
| エッチング装置 | 生産 重量(t) | X |
| エッチング装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| 薄膜形成装置 | 生産 数量(台) | 108 |
| 薄膜形成装置 | 生産 重量(t) | 337 |
| 薄膜形成装置 | 生産 金額(百万円) | 13238 |
| その他の装置 | 生産 数量(台) | 83 |
| その他の装置 | 生産 重量(t) | 729 |
| その他の装置 | 生産 金額(百万円) | 18401 |
| 組立用装置 | 生産 数量(台) | 1360 |
| 組立用装置 | 生産 重量(t) | 939 |
| 組立用装置 | 生産 金額(百万円) | 11204 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 851 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 710 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 12469 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 32147 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 数量(台) | 9 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 重量(t) | 124 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 6852 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 72 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 1279 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 18297 |
| パネル工程用装置 | 生産 数量(台) | 31 |
| パネル工程用装置 | 生産 重量(t) | 501 |
| パネル工程用装置 | 生産 金額(百万円) | 3784 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 34 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 690 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 3214 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 数量(台) | 2559 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 重量(t) | … |
| 半導体・IC測定器 | 生産 金額(百万円) | 10676 |