経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 確報（１）生産・出荷・在庫統計
表 - 製品月表 ５７．半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003056904
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201008
データ件数: 42件
公開日: 2011-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計品目１-２(機械) | 統計項目１-２(機械) | 値 |
|---|---|---|
| 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 107950 |
| 半導体製造装置 | 生産 金額(百万円) | 78220 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 数量(台) | 46 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 重量(t) | 237 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 2409 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 263 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 1224 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 50813 |
| 露光・描画用装置 | 生産 数量(台) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 重量(t) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| エッチング装置 | 生産 数量(台) | X |
| エッチング装置 | 生産 重量(t) | X |
| エッチング装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| 薄膜形成装置 | 生産 数量(台) | 124 |
| 薄膜形成装置 | 生産 重量(t) | 362 |
| 薄膜形成装置 | 生産 金額(百万円) | 13627 |
| その他の装置 | 生産 数量(台) | 101 |
| その他の装置 | 生産 重量(t) | 727 |
| その他の装置 | 生産 金額(百万円) | 19111 |
| 組立用装置 | 生産 数量(台) | 1266 |
| 組立用装置 | 生産 重量(t) | 1108 |
| 組立用装置 | 生産 金額(百万円) | 11898 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 1041 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 1019 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 13100 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 29730 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 数量(台) | 14 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 重量(t) | 123 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 9037 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 60 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 1248 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 13821 |
| パネル工程用装置 | 生産 数量(台) | 36 |
| パネル工程用装置 | 生産 重量(t) | 439 |
| パネル工程用装置 | 生産 金額(百万円) | 3768 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 39 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 479 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 3104 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 数量(台) | 1517 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 重量(t) | … |
| 半導体・IC測定器 | 生産 金額(百万円) | 11603 |