経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 確報（１）生産・出荷・在庫統計
表 - 製品月表 ５７．半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003058285
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201010
データ件数: 42件
公開日: 2011-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計品目１-２(機械) | 統計項目１-２(機械) | 値 |
|---|---|---|
| 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 116006 |
| 半導体製造装置 | 生産 金額(百万円) | 76582 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 数量(台) | 37 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 重量(t) | 275 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 2202 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 252 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 1199 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 53106 |
| 露光・描画用装置 | 生産 数量(台) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 重量(t) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| エッチング装置 | 生産 数量(台) | X |
| エッチング装置 | 生産 重量(t) | X |
| エッチング装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| 薄膜形成装置 | 生産 数量(台) | 118 |
| 薄膜形成装置 | 生産 重量(t) | 327 |
| 薄膜形成装置 | 生産 金額(百万円) | 12366 |
| その他の装置 | 生産 数量(台) | 93 |
| その他の装置 | 生産 重量(t) | 728 |
| その他の装置 | 生産 金額(百万円) | 18800 |
| 組立用装置 | 生産 数量(台) | 1126 |
| 組立用装置 | 生産 重量(t) | 1061 |
| 組立用装置 | 生産 金額(百万円) | 10906 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 922 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 872 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 10368 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 39424 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 数量(台) | 14 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 重量(t) | 93 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 12894 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 37 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 903 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 14559 |
| パネル工程用装置 | 生産 数量(台) | 33 |
| パネル工程用装置 | 生産 重量(t) | 899 |
| パネル工程用装置 | 生産 金額(百万円) | 7364 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 37 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 650 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 4607 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 数量(台) | 3737 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 重量(t) | … |
| 半導体・IC測定器 | 生産 金額(百万円) | 9247 |