経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 確報（１）生産・出荷・在庫統計
表 - 製品月表 ５７．半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003058461
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201011
データ件数: 42件
公開日: 2011-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計品目１-２(機械) | 統計項目１-２(機械) | 値 |
|---|---|---|
| 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 122985 |
| 半導体製造装置 | 生産 金額(百万円) | 97857 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 数量(台) | 46 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 重量(t) | 313 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 2828 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 282 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 1520 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 63183 |
| 露光・描画用装置 | 生産 数量(台) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 重量(t) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| エッチング装置 | 生産 数量(台) | X |
| エッチング装置 | 生産 重量(t) | X |
| エッチング装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| 薄膜形成装置 | 生産 数量(台) | 127 |
| 薄膜形成装置 | 生産 重量(t) | 390 |
| 薄膜形成装置 | 生産 金額(百万円) | 15220 |
| その他の装置 | 生産 数量(台) | 112 |
| その他の装置 | 生産 重量(t) | 969 |
| その他の装置 | 生産 金額(百万円) | 23881 |
| 組立用装置 | 生産 数量(台) | 1022 |
| 組立用装置 | 生産 重量(t) | 845 |
| 組立用装置 | 生産 金額(百万円) | 8813 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 874 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 1004 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 23033 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 25128 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 数量(台) | 8 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 重量(t) | 54 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 8350 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 41 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 760 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 10827 |
| パネル工程用装置 | 生産 数量(台) | 15 |
| パネル工程用装置 | 生産 重量(t) | 327 |
| パネル工程用装置 | 生産 金額(百万円) | 3949 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 21 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 257 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 2002 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 数量(台) | 1684 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 重量(t) | … |
| 半導体・IC測定器 | 生産 金額(百万円) | 8448 |