経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 確報（１）生産・出荷・在庫統計
表 - 製品月表 ５７．半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003058570
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201012
データ件数: 42件
公開日: 2011-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計品目１-２(機械) | 統計項目１-２(機械) | 値 |
|---|---|---|
| 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 139703 |
| 半導体製造装置 | 生産 金額(百万円) | 105615 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 数量(台) | 42 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 重量(t) | 335 |
| ウエハ製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 3036 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 347 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 1878 |
| ウエハプロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 75327 |
| 露光・描画用装置 | 生産 数量(台) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 重量(t) | X |
| 露光・描画用装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| エッチング装置 | 生産 数量(台) | X |
| エッチング装置 | 生産 重量(t) | X |
| エッチング装置 | 生産 金額(百万円) | X |
| 薄膜形成装置 | 生産 数量(台) | 137 |
| 薄膜形成装置 | 生産 重量(t) | 471 |
| 薄膜形成装置 | 生産 金額(百万円) | 17347 |
| その他の装置 | 生産 数量(台) | 154 |
| その他の装置 | 生産 重量(t) | 1223 |
| その他の装置 | 生産 金額(百万円) | 34831 |
| 組立用装置 | 生産 数量(台) | 878 |
| 組立用装置 | 生産 重量(t) | 640 |
| 組立用装置 | 生産 金額(百万円) | 8211 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 897 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 877 |
| 半導体製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 19041 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 生産 金額(百万円) | 34088 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 数量(台) | 12 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 重量(t) | 66 |
| ガラス基板製造用装置 | 生産 金額(百万円) | 9997 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 数量(台) | 57 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 重量(t) | 1511 |
| ガラス基板プロセス用処理装置 | 生産 金額(百万円) | 16224 |
| パネル工程用装置 | 生産 数量(台) | 34 |
| パネル工程用装置 | 生産 重量(t) | 509 |
| パネル工程用装置 | 生産 金額(百万円) | 4304 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 数量(台) | 36 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 重量(t) | 446 |
| フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク･レチクル製造用装置を含む) | 生産 金額(百万円) | 3563 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 数量(台) | 3524 |
| 半導体・IC測定器 | 生産 重量(t) | … |
| 半導体・IC測定器 | 生産 金額(百万円) | 6439 |