経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 年報 平成24年 年報
表 - 平成24年 生産・出荷・在庫統計 １．製品統計表（時系列） （57）半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003098292
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201201-201212
データ件数: 897件
公開日: 2014-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計項目A(機械)_統計表 | 品目A（機械）_統計表 | 年月（期付） | 値 |
|---|---|---|---|
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成20年 | 554 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成21年 | 225 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 | 474 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 | 549 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 | 239 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年度 | 558 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年度 | 449 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 78 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 59 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 68 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 34 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年1月 | 15 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年2月 | 35 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年3月 | 28 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年4月 | 22 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年5月 | 15 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年6月 | 22 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年7月 | 21 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年8月 | 24 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年9月 | 23 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年10月 | 14 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年11月 | 7 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年12月 | 13 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成20年 | 2729 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成21年 | 1253 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 | 3004 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 | 3141 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 | 2492 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年度 | 3195 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年度 | 3183 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 903 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 665 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 566 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 358 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年1月 | 275 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年2月 | 306 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年3月 | 322 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年4月 | 242 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年5月 | 222 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年6月 | 201 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年7月 | 201 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年8月 | 194 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年9月 | 171 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年10月 | 81 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年11月 | 119 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年12月 | 158 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成20年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成21年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年度 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年度 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年1月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年2月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年3月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年4月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年5月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年6月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年7月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年8月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年9月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年10月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年11月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年12月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成20年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成21年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年度 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年度 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年1月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年2月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年3月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年4月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年5月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年6月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年7月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年8月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年9月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年10月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年11月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年12月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成20年 | 883 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成21年 | 458 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 | 1338 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 | 1230 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 | 840 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年度 | 1343 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年度 | 1245 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 337 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 228 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 159 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 116 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年1月 | 108 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年2月 | 136 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年3月 | 93 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年4月 | 92 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年5月 | 73 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年6月 | 63 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年7月 | 68 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年8月 | 54 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年9月 | 37 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年10月 | 23 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年11月 | 47 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年12月 | 46 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成20年 | 1308 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成21年 | 526 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 | 1205 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 | 1409 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 | 1279 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年度 | 1368 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年度 | 1432 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 424 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 351 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 319 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 185 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年1月 | 127 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年2月 | 122 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年3月 | 175 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年4月 | 121 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年5月 | 121 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年6月 | 109 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年7月 | 108 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年8月 | 112 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年9月 | 99 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年10月 | 42 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年11月 | 57 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年12月 | 86 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成20年 | 9650 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成21年 | 5089 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 | 13081 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 | 10488 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 | 9301 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年度 | 13181 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年度 | 10118 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 2302 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 2713 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 2437 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 1849 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年1月 | 688 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年2月 | 760 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年3月 | 854 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年4月 | 706 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年5月 | 1023 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年6月 | 984 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年7月 | 901 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年8月 | 793 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年9月 | 743 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年10月 | 708 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年11月 | 560 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年12月 | 581 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成20年 | 5940 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成21年 | 3649 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 | 10294 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 | 9475 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 | 9285 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年度 | 10543 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年度 | 9059 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 2304 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 2776 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 2165 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 2040 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年1月 | 593 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年2月 | 778 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年3月 | 933 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年4月 | 945 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年5月 | 773 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年6月 | 1058 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年7月 | 872 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年8月 | 556 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年9月 | 737 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年10月 | 700 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年11月 | 596 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年12月 | 744 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成20年 | 205 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成21年 | 176 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 | 123 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 | 203 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 | 110 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年度 | 151 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年度 | 204 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 50 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 21 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 17 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 22 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年1月 | 20 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年2月 | 18 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年3月 | 12 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年4月 | 5 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年5月 | 8 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年6月 | 8 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年7月 | 8 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年8月 | 3 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年9月 | 6 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年10月 | 5 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年11月 | 7 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年12月 | 10 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成20年 | 1061 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成21年 | 675 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 | 633 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 | 659 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 | 506 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年度 | 649 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年度 | 654 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 150 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 77 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 174 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 105 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年1月 | 32 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年2月 | 66 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年3月 | 52 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年4月 | 8 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年5月 | 25 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年6月 | 44 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年7月 | 43 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年8月 | 61 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年9月 | 70 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年10月 | 37 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年11月 | 33 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年12月 | 35 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成20年 | 478 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成21年 | 234 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 | 364 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 | 476 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 | 332 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年度 | 404 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年度 | 454 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 92 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 97 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 99 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 44 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年1月 | 13 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年2月 | 28 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年3月 | 51 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年4月 | 17 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年5月 | 32 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年6月 | 48 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年7月 | 42 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年8月 | 18 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年9月 | 39 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年10月 | 12 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年11月 | 17 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年12月 | 15 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成20年 | 1026 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成21年 | 460 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 | 502 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 | 495 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 | 305 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年度 | 539 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年度 | 499 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 147 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 90 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 34 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 34 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年1月 | 28 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年2月 | 27 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年3月 | 92 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年4月 | 12 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年5月 | 16 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年6月 | 62 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年7月 | 14 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年8月 | 11 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年9月 | 9 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年10月 | 6 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年11月 | 9 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年12月 | 19 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成20年 | 3501 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成21年 | 1245 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 | 3083 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 | 3360 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 | 953 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年度 | 3544 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年度 | 2585 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 317 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 216 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 322 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 98 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年1月 | 86 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年2月 | 146 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年3月 | 85 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年4月 | 99 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年5月 | 53 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年6月 | 64 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年7月 | 105 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年8月 | 95 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年9月 | 121 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年10月 | 62 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年11月 | 22 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年12月 | 14 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成20年 | 13745 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成21年 | 6507 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 | 15258 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 | 17124 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 | 15306 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年度 | 16478 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年度 | 18148 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 5545 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 4000 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 3450 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 2311 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年1月 | 1676 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年2月 | 1848 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年3月 | 2021 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年4月 | 1407 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年5月 | 1371 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年6月 | 1221 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年7月 | 1206 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年8月 | 1124 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年9月 | 1120 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年10月 | 539 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年11月 | 702 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年12月 | 1069 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成20年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成21年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年度 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年度 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年1月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年2月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年3月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年4月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年5月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年6月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年7月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年8月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年9月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年10月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年11月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年12月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成20年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成21年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年度 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年度 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年1月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年2月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年3月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年4月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年5月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年6月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年7月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年8月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年9月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年10月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年11月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年12月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成20年 | 2704 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成21年 | 1418 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 | 4083 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 | 3717 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 | 2495 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年度 | 4063 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年度 | 3755 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 988 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 650 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 472 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 383 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年1月 | 324 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年2月 | 414 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年3月 | 251 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年4月 | 274 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年5月 | 206 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年6月 | 171 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年7月 | 205 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年8月 | 153 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年9月 | 114 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年10月 | 84 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年11月 | 137 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年12月 | 162 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成20年 | 9367 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成21年 | 3876 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 | 9512 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 | 10378 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 | 10071 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年度 | 10655 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年度 | 10841 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 3495 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 2743 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 2317 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 1517 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年1月 | 1050 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年2月 | 1058 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年3月 | 1387 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年4月 | 965 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年5月 | 944 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年6月 | 834 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年7月 | 814 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年8月 | 753 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年9月 | 749 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年10月 | 342 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年11月 | 446 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年12月 | 730 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成20年 | 8154 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成21年 | 3634 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 | 10600 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 | 7839 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 | 7046 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年度 | 10534 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年度 | 7478 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 1621 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 2264 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 2077 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 1084 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年1月 | 444 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年2月 | 488 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年3月 | 689 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年4月 | 521 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年5月 | 917 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年6月 | 826 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年7月 | 754 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年8月 | 728 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年9月 | 595 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年10月 | 455 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年11月 | 328 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年12月 | 301 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成20年 | 5591 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成21年 | 3860 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 | 10663 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 | 8722 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 | 6770 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年度 | 10966 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年度 | 7629 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 1847 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 1727 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 1654 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 1542 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年1月 | 533 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年2月 | 634 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年3月 | 680 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年4月 | 444 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年5月 | 545 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年6月 | 738 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年7月 | 577 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年8月 | 463 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年9月 | 613 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年10月 | 521 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年11月 | 459 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年12月 | 561 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成20年 | 2261 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成21年 | 1271 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 | 968 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 | 1654 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 | 904 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年度 | 1136 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年度 | 1895 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 571 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 129 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 90 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 113 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年1月 | 231 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年2月 | 234 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年3月 | 107 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年4月 | 54 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年5月 | 39 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年6月 | 37 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年7月 | 37 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年8月 | 22 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年9月 | 32 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年10月 | 25 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年11月 | 44 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年12月 | 44 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成20年 | 12941 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成21年 | 12414 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 | 13292 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 | 19606 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 | 8370 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年度 | 13090 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年度 | 19902 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 3623 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 1487 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 1856 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 1405 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年1月 | 895 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年2月 | 946 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年3月 | 1781 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年4月 | 95 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年5月 | 485 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年6月 | 907 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年7月 | 295 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年8月 | 930 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年9月 | 631 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年10月 | 412 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年11月 | 378 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年12月 | 615 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成20年 | 5588 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成21年 | 4385 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 | 4740 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 | 4458 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 | 2301 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年度 | 4544 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年度 | 4173 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 572 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 673 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 743 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 314 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年1月 | 94 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年2月 | 225 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年3月 | 253 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年4月 | 200 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年5月 | 260 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年6月 | 212 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年7月 | 284 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年8月 | 180 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年9月 | 279 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年10月 | 137 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年11月 | 94 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年12月 | 83 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成20年 | 9632 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成21年 | 6343 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 | 7536 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 | 5318 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 | 1619 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年度 | 8689 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年度 | 3519 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 814 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 335 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 283 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 186 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年1月 | 159 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年2月 | 146 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年3月 | 509 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年4月 | 27 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年5月 | 41 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年6月 | 268 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年7月 | 137 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年8月 | 95 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年9月 | 51 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年10月 | 31 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年11月 | 55 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年12月 | 100 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成20年 | 1331276 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成21年 | 761482 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年 | 1327236 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年 | 1334155 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年 | 1017232 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年度 | 1398047 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年度 | 1321490 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 345719 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 253659 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 236596 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 181258 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年1月 | 102130 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年2月 | 117596 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年3月 | 125993 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年4月 | 80321 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年5月 | 82747 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年6月 | 90591 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年7月 | 74117 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年8月 | 74134 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年9月 | 88345 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年10月 | 47089 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年11月 | 48334 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年12月 | 85835 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成20年 | 856075 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成21年 | 437676 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年 | 970403 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年 | 984632 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年 | 819684 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年度 | 1041264 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年度 | 972260 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 267703 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 209604 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 198357 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 144020 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年1月 | 79069 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年2月 | 90868 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年3月 | 97766 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年4月 | 72489 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年5月 | 70774 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年6月 | 66341 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年7月 | 61206 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年8月 | 65003 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年9月 | 72148 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年10月 | 38136 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年11月 | 36200 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年12月 | 69684 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成20年 | 33096 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成21年 | 11874 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 | 27604 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 | 31457 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 | 13882 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年度 | 32541 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年度 | 25069 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 4074 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 3377 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 4608 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 1823 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年1月 | 781 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年2月 | 1837 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年3月 | 1456 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年4月 | 1032 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年5月 | 1115 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年6月 | 1230 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年7月 | 1345 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年8月 | 1660 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年9月 | 1603 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年10月 | 851 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年11月 | 316 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年12月 | 656 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成20年 | 592935 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成21年 | 298367 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 | 626905 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 | 694263 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 | 588925 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年度 | 677189 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年度 | 720435 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 207289 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 146356 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 134265 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 101015 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年1月 | 63125 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年2月 | 68435 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年3月 | 75729 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年4月 | 55959 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年5月 | 51193 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年6月 | 39204 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年7月 | 42364 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年8月 | 44908 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年9月 | 46993 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年10月 | 21250 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年11月 | 25056 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年12月 | 54709 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成20年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成21年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年度 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年度 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年1月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年2月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年3月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年4月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年5月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年6月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年7月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年8月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年9月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年10月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年11月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年12月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成20年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成21年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年度 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年度 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年1月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年2月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年3月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年4月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年5月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年6月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年7月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年8月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年9月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年10月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年11月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年12月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成20年 | 110509 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成21年 | 58060 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 | 157382 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 | 142266 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 | 99722 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年度 | 157556 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年度 | 143540 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 38846 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 24372 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 19038 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 17466 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年1月 | 12698 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年2月 | 16562 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年3月 | 9586 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年4月 | 10615 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年5月 | 7204 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年6月 | 6553 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年7月 | 7819 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年8月 | 5554 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年9月 | 5665 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年10月 | 3960 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年11月 | 5927 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年12月 | 7579 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成20年 | 228125 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成21年 | 101683 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 | 247614 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 | 310220 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 | 303512 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年度 | 278311 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年度 | 332324 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 102034 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 82184 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 71310 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 47984 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年1月 | 29326 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年2月 | 29897 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年3月 | 42811 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年4月 | 27039 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年5月 | 30663 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年6月 | 24482 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年7月 | 23190 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年8月 | 24009 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年9月 | 24111 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年10月 | 8513 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年11月 | 14613 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年12月 | 24858 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成20年 | 90826 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成21年 | 40949 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 | 118515 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 | 92102 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 | 85290 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年度 | 118105 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年度 | 90031 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 20969 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 25882 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 25028 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 13411 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年1月 | 5943 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年2月 | 6792 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年3月 | 8234 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年4月 | 6204 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年5月 | 9973 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年6月 | 9705 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年7月 | 9089 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年8月 | 8576 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年9月 | 7363 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年10月 | 5874 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年11月 | 3655 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年12月 | 3882 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成20年 | 139218 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成21年 | 86486 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 | 197379 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 | 166810 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 | 131587 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年度 | 213429 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年度 | 136725 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 35371 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 33989 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 34456 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 27771 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年1月 | 9220 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年2月 | 13804 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年3月 | 12347 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年4月 | 9294 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年5月 | 8493 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年6月 | 16202 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年7月 | 8408 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年8月 | 9859 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年9月 | 16189 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年10月 | 10161 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年11月 | 7173 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年12月 | 10437 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成20年 | 475201 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成21年 | 323806 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年 | 356833 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年 | 349523 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年 | 197548 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年度 | 356783 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年度 | 349230 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 78016 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 44055 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 38239 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 37238 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年1月 | 23061 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年2月 | 26728 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年3月 | 28227 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年4月 | 7832 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年5月 | 11973 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年6月 | 24250 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年7月 | 12911 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年8月 | 9131 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年9月 | 16197 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年10月 | 8953 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年11月 | 12134 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年12月 | 16151 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成20年 | 132709 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成21年 | 89506 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 | 97599 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 | 133210 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 | 72190 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年度 | 105810 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年度 | 141241 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 33967 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 11204 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 11914 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 15105 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年1月 | 11814 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年2月 | 13397 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年3月 | 8756 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年4月 | 2196 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年5月 | 4868 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年6月 | 4140 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年7月 | 6130 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年8月 | 1942 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年9月 | 3842 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年10月 | 3550 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年11月 | 5589 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年12月 | 5966 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成20年 | 180815 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成21年 | 144665 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 | 170430 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 | 146145 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 | 85184 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年度 | 159002 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年度 | 144941 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 28417 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 20389 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 19344 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 17034 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年1月 | 7696 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年2月 | 9253 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年3月 | 11468 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年4月 | 2573 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年5月 | 4804 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年6月 | 13012 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年7月 | 3647 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年8月 | 5635 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年9月 | 10062 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年10月 | 4195 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年11月 | 5539 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年12月 | 7300 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成20年 | 60517 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成21年 | 32810 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 | 38666 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 | 28551 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 | 15843 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年度 | 36956 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年度 | 25599 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 3903 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 4833 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 4765 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 2342 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年1月 | 685 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年2月 | 1243 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年3月 | 1975 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年4月 | 1361 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年5月 | 1895 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年6月 | 1577 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年7月 | 2163 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年8月 | 1077 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年9月 | 1525 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年10月 | 1007 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年11月 | 739 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年12月 | 596 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成20年 | 101160 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成21年 | 56825 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 | 50138 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 | 41617 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 | 24331 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年度 | 55015 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年度 | 37449 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 1 ～ 3 月 | 11729 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 4 ～ 6 月 | 7629 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 7 ～ 9 月 | 2216 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 10 ～ 12 月 | 2757 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年1月 | 2866 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年2月 | 2835 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年3月 | 6028 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年4月 | 1702 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年5月 | 406 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年6月 | 5521 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年7月 | 971 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年8月 | 477 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年9月 | 768 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年10月 | 201 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年11月 | 267 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年12月 | 2289 |