経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 年報 平成23年 年報
表 - 平成23年 生産・出荷・在庫統計 １．製品統計表（時系列） （57）半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003137085
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201101-201112
データ件数: 897件
公開日: 2013-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計項目A(機械)_統計表 | 品目A（機械）_統計表 | 年月（期付） | 値 |
|---|---|---|---|
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成19年 | 761 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成20年 | 554 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成21年 | 225 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 | 474 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 | 549 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成21年度 | 256 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年度 | 558 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 178 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 154 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 119 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 98 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年1月 | 35 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年2月 | 69 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年3月 | 74 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年4月 | 46 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年5月 | 64 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年6月 | 44 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年7月 | 36 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年8月 | 38 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年9月 | 45 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年10月 | 28 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年11月 | 47 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年12月 | 23 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成19年 | 5294 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成20年 | 2729 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成21年 | 1253 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 | 3004 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 | 3141 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成21年度 | 1603 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年度 | 3195 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 861 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 878 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 762 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 640 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年1月 | 283 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年2月 | 300 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年3月 | 278 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年4月 | 264 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年5月 | 316 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年6月 | 298 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年7月 | 269 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年8月 | 266 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年9月 | 227 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年10月 | 185 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年11月 | 185 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年12月 | 270 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成19年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成20年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成21年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成21年度 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年度 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年1月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年2月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年3月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年4月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年5月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年6月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年7月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年8月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年9月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年10月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年11月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年12月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成19年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成20年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成21年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成21年度 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年度 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年1月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年2月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年3月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年4月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年5月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年6月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年7月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年8月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年9月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年10月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年11月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年12月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成19年 | 1801 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成20年 | 883 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成21年 | 458 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 | 1338 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 | 1230 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成21年度 | 660 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年度 | 1343 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 322 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 345 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 293 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 270 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年1月 | 111 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年2月 | 116 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年3月 | 95 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年4月 | 114 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年5月 | 122 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年6月 | 109 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年7月 | 106 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年8月 | 105 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年9月 | 82 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年10月 | 92 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年11月 | 73 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年12月 | 105 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成19年 | 2538 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成20年 | 1308 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成21年 | 526 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 | 1205 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 | 1409 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成21年度 | 638 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年度 | 1368 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 401 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 410 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 338 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 260 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年1月 | 124 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年2月 | 134 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年3月 | 143 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年4月 | 119 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年5月 | 151 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年6月 | 140 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年7月 | 118 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年8月 | 112 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年9月 | 108 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年10月 | 65 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年11月 | 79 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年12月 | 116 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成19年 | 13480 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成20年 | 9650 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成21年 | 5089 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 | 13081 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 | 10488 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成21年度 | 7086 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年度 | 13181 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 2672 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 2870 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 2553 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 2393 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年1月 | 710 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年2月 | 866 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年3月 | 1096 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年4月 | 894 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年5月 | 949 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年6月 | 1027 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年7月 | 917 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年8月 | 869 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年9月 | 767 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年10月 | 734 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年11月 | 823 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年12月 | 836 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成19年 | 10929 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成20年 | 5940 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成21年 | 3649 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 | 10294 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 | 9475 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成21年度 | 5663 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年度 | 10543 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 2720 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 2581 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 2154 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 2020 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年1月 | 823 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年2月 | 877 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年3月 | 1020 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年4月 | 852 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年5月 | 859 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年6月 | 870 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年7月 | 813 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年8月 | 695 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年9月 | 646 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年10月 | 633 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年11月 | 519 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年12月 | 868 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成19年 | 193 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成20年 | 205 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成21年 | 176 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 | 123 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 | 203 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成21年度 | 143 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年度 | 151 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 49 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 45 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 52 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 57 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年1月 | 19 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年2月 | 16 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年3月 | 14 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年4月 | 5 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年5月 | 21 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年6月 | 19 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年7月 | 13 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年8月 | 22 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年9月 | 17 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年10月 | 17 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年11月 | 17 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年12月 | 23 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成19年 | 723 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成20年 | 1061 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成21年 | 675 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 | 633 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 | 659 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成21年度 | 579 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年度 | 649 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 155 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 134 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 186 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 184 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年1月 | 55 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年2月 | 33 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年3月 | 67 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年4月 | 46 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年5月 | 39 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年6月 | 49 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年7月 | 58 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年8月 | 60 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年9月 | 68 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年10月 | 60 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年11月 | 59 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年12月 | 65 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成19年 | 468 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成20年 | 478 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成21年 | 234 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 | 364 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 | 476 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成21年度 | 243 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年度 | 404 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 114 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 80 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 173 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 109 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年1月 | 33 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年2月 | 27 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年3月 | 54 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年4月 | 25 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年5月 | 33 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年6月 | 22 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年7月 | 41 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年8月 | 30 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年9月 | 102 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年10月 | 56 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年11月 | 18 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年12月 | 35 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成19年 | 552 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成20年 | 1026 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成21年 | 460 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 | 502 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 | 495 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成21年度 | 383 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年度 | 539 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 143 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 108 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 157 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 87 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年1月 | 40 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年2月 | 28 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年3月 | 75 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年4月 | 29 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年5月 | 33 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年6月 | 46 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年7月 | 44 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年8月 | 28 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年9月 | 85 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年10月 | 28 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年11月 | 29 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年12月 | 30 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成19年 | 4210 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成20年 | 3501 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成21年 | 1245 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 | 3083 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 | 3360 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成21年度 | 1503 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年度 | 3544 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 1092 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 1056 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 689 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 522 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年1月 | 250 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年2月 | 473 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年3月 | 369 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年4月 | 403 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年5月 | 416 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年6月 | 238 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年7月 | 301 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年8月 | 199 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年9月 | 189 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年10月 | 102 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年11月 | 280 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年12月 | 140 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成19年 | 26431 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成20年 | 13745 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成21年 | 6507 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 | 15258 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 | 17124 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成21年度 | 8096 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年度 | 16478 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 4521 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 5012 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 4117 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 3474 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年1月 | 1443 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年2月 | 1588 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年3月 | 1489 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年4月 | 1570 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年5月 | 1782 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年6月 | 1660 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年7月 | 1414 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年8月 | 1410 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年9月 | 1293 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年10月 | 838 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年11月 | 1154 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年12月 | 1482 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成19年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成20年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成21年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成21年度 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年度 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年1月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年2月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年3月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年4月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年5月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年6月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年7月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年8月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年9月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年10月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年11月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年12月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成19年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成20年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成21年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成21年度 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年度 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年1月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年2月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年3月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年4月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年5月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年6月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年7月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年8月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年9月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年10月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年11月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年12月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成19年 | 4652 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成20年 | 2704 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成21年 | 1418 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 | 4083 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 | 3717 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成21年度 | 2032 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年度 | 4063 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 951 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 1058 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 888 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 821 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年1月 | 313 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年2月 | 367 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年3月 | 271 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年4月 | 379 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年5月 | 352 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年6月 | 327 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年7月 | 332 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年8月 | 296 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年9月 | 260 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年10月 | 257 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年11月 | 238 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年12月 | 326 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成19年 | 18861 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成20年 | 9367 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成21年 | 3876 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 | 9512 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 | 10378 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成21年度 | 4801 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年度 | 10655 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 3032 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 3017 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 2364 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 1965 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年1月 | 964 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年2月 | 1041 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年3月 | 1028 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年4月 | 954 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年5月 | 1116 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年6月 | 946 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年7月 | 780 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年8月 | 791 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年9月 | 793 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年10月 | 449 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年11月 | 704 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年12月 | 813 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成19年 | 12982 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成20年 | 8154 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成21年 | 3634 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 | 10600 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 | 7839 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成21年度 | 5266 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年度 | 10534 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 1982 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 2108 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 2044 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 1705 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年1月 | 461 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年2月 | 660 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年3月 | 861 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年4月 | 558 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年5月 | 744 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年6月 | 807 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年7月 | 819 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年8月 | 665 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年9月 | 560 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年10月 | 440 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年11月 | 530 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年12月 | 735 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成19年 | 8633 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成20年 | 5591 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成21年 | 3860 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 | 10663 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 | 8722 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成21年度 | 5989 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年度 | 10966 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 2940 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 2202 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 1925 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 1655 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年1月 | 918 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年2月 | 937 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年3月 | 1086 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年4月 | 740 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年5月 | 723 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年6月 | 739 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年7月 | 743 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年8月 | 650 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年9月 | 531 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年10月 | 572 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年11月 | 458 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年12月 | 625 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成19年 | 1685 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成20年 | 2261 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成21年 | 1271 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 | 968 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 | 1654 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成21年度 | 1113 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年度 | 1136 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 330 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 448 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 408 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 467 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年1月 | 139 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年2月 | 74 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年3月 | 117 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年4月 | 40 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年5月 | 294 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年6月 | 113 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年7月 | 163 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年8月 | 140 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年9月 | 106 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年10月 | 144 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年11月 | 95 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年12月 | 228 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成19年 | 13054 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成20年 | 12941 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成21年 | 12414 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 | 13292 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 | 19606 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成21年度 | 10383 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年度 | 13090 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 3327 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 4474 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 6124 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 5682 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年1月 | 1381 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年2月 | 1017 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年3月 | 929 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年4月 | 1525 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年5月 | 1295 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年6月 | 1654 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年7月 | 1985 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年8月 | 1727 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年9月 | 2411 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年10月 | 1909 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年11月 | 1842 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年12月 | 1931 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成19年 | 6873 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成20年 | 5588 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成21年 | 4385 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 | 4740 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 | 4458 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成21年度 | 3876 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年度 | 4544 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 857 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 1458 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 1351 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 791 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年1月 | 365 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年2月 | 203 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年3月 | 289 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年4月 | 338 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年5月 | 721 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年6月 | 399 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年7月 | 493 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年8月 | 482 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年9月 | 377 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年10月 | 396 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年11月 | 103 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年12月 | 292 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成19年 | 6980 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成20年 | 9632 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成21年 | 6343 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 | 7536 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 | 5318 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成21年度 | 4858 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年度 | 8689 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 2613 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 734 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 1135 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 835 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年1月 | 510 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年2月 | 758 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年3月 | 1345 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年4月 | 212 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年5月 | 225 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年6月 | 297 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年7月 | 353 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年8月 | 331 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年9月 | 452 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年10月 | 346 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年11月 | 325 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年12月 | 164 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成19年 | 1864143 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成20年 | 1331276 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成21年 | 761482 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年 | 1327236 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年 | 1334155 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成21年度 | 822143 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年度 | 1398047 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 358384 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 342889 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 330944 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 301938 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年1月 | 117688 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年2月 | 111100 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年3月 | 129596 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年4月 | 97606 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年5月 | 119588 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年6月 | 125695 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年7月 | 109630 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年8月 | 113711 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年9月 | 107603 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年10月 | 85293 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年11月 | 89900 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年12月 | 126745 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成19年 | 1504209 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成20年 | 856075 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成21年 | 437676 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年 | 970403 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年 | 984632 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成21年度 | 551544 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年度 | 1041264 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 280075 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 269079 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 236102 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 199376 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年1月 | 90032 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年2月 | 90518 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年3月 | 99525 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年4月 | 79918 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年5月 | 95229 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年6月 | 93932 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年7月 | 82116 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年8月 | 84769 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年9月 | 69217 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年10月 | 51733 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年11月 | 57844 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年12月 | 89799 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成19年 | 51420 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成20年 | 33096 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成21年 | 11874 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 | 27604 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 | 31457 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成21年度 | 14582 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年度 | 32541 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 10462 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 9054 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 6843 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 5098 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年1月 | 1908 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年2月 | 4185 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年3月 | 4369 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年4月 | 3002 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年5月 | 3623 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年6月 | 2429 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年7月 | 2337 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年8月 | 2073 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年9月 | 2433 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年10月 | 1418 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年11月 | 2141 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年12月 | 1539 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成19年 | 1105965 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成20年 | 592935 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成21年 | 298367 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 | 626905 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 | 694263 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成21年度 | 356846 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年度 | 677189 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 181117 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 197172 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 170982 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 144992 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年1月 | 63162 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年2月 | 59879 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年3月 | 58076 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年4月 | 57378 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年5月 | 73920 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年6月 | 65874 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年7月 | 60755 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年8月 | 59291 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年9月 | 50936 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年10月 | 37115 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年11月 | 40450 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年12月 | 67427 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成19年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成20年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成21年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成21年度 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年度 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年1月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年2月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年3月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年4月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年5月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年6月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年7月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年8月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年9月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年10月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年11月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年12月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成19年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成20年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成21年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成21年度 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年度 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年1月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年2月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年3月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年4月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年5月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年6月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年7月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年8月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年9月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年10月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年11月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年12月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成19年 | 223206 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成20年 | 110509 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成21年 | 58060 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 | 157382 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 | 142266 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成21年度 | 80857 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年度 | 157556 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 37572 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 38181 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 34770 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 31743 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年1月 | 13092 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年2月 | 13563 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年3月 | 10917 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年4月 | 14021 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年5月 | 12572 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年6月 | 11588 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年7月 | 13056 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年8月 | 10879 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年9月 | 10835 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年10月 | 9985 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年11月 | 9068 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年12月 | 12690 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成19年 | 439223 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成20年 | 228125 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成21年 | 101683 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 | 247614 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 | 310220 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成21年度 | 128650 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年度 | 278311 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 79930 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 93271 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 73601 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 63418 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年1月 | 24807 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年2月 | 25276 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年3月 | 29847 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年4月 | 27300 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年5月 | 35884 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年6月 | 30087 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年7月 | 25073 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年8月 | 25944 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年9月 | 22584 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年10月 | 14020 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年11月 | 22049 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年12月 | 27349 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成19年 | 153225 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成20年 | 90826 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成21年 | 40949 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 | 118515 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 | 92102 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成21年度 | 59019 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年度 | 118105 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 23040 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 25290 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 23762 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 20010 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年1月 | 5905 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年2月 | 6932 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年3月 | 10203 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年4月 | 7461 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年5月 | 7977 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年6月 | 9852 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年7月 | 8842 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年8月 | 8312 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年9月 | 6608 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年10月 | 5438 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年11月 | 6785 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年12月 | 7787 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成19年 | 193599 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成20年 | 139218 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成21年 | 86486 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 | 197379 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 | 166810 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成21年度 | 121097 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年度 | 213429 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 65456 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 37563 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 34515 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 29276 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年1月 | 19057 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年2月 | 19522 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年3月 | 26877 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年4月 | 12077 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年5月 | 9709 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年6月 | 15777 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年7月 | 10182 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年8月 | 15093 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年9月 | 9240 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年10月 | 7762 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年11月 | 8468 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年12月 | 13046 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成19年 | 359934 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成20年 | 475201 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成21年 | 323806 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年 | 356833 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年 | 349523 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成21年度 | 270599 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年度 | 356783 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 78309 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 73810 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 94842 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 102562 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年1月 | 27656 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年2月 | 20582 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年3月 | 30071 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年4月 | 17688 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年5月 | 24359 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年6月 | 31763 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年7月 | 27514 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年8月 | 28942 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年9月 | 38386 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年10月 | 33560 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年11月 | 32056 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年12月 | 36946 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成19年 | 90741 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成20年 | 132709 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成21年 | 89506 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 | 97599 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 | 133210 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成21年度 | 72386 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年度 | 105810 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 25936 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 29240 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 36295 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 41739 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年1月 | 9627 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年2月 | 8373 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年3月 | 7936 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年4月 | 4865 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年5月 | 10684 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年6月 | 13691 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年7月 | 8885 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年8月 | 13763 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年9月 | 13647 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年10月 | 11069 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年11月 | 12657 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年12月 | 18013 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成19年 | 146653 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成20年 | 180815 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成21年 | 144665 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 | 170430 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 | 146145 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成21年度 | 123014 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年度 | 159002 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 29621 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 28430 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 39059 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 49035 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年1月 | 10862 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年2月 | 6690 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年3月 | 12069 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年4月 | 7741 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年5月 | 8875 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年6月 | 11814 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年7月 | 13374 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年8月 | 10393 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年9月 | 15292 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年10月 | 17264 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年11月 | 16651 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年12月 | 15120 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成19年 | 66922 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成20年 | 60517 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成21年 | 32810 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 | 38666 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 | 28551 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成21年度 | 29551 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年度 | 36956 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 6855 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 7012 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 9008 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 5676 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年1月 | 3307 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年2月 | 1346 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年3月 | 2202 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年4月 | 1915 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年5月 | 2924 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年6月 | 2173 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年7月 | 2225 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年8月 | 2963 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年9月 | 3820 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年10月 | 3069 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年11月 | 796 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年12月 | 1811 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成19年 | 55618 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成20年 | 101160 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成21年 | 56825 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 | 50138 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 | 41617 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成21年度 | 45648 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年度 | 55015 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 1 ～ 3 月 | 15897 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 4 ～ 6 月 | 9128 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 7 ～ 9 月 | 10480 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 10 ～ 12 月 | 6112 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年1月 | 3860 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年2月 | 4173 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年3月 | 7864 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年4月 | 3167 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年5月 | 1876 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年6月 | 4085 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年7月 | 3030 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年8月 | 1823 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年9月 | 5627 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年10月 | 2158 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年11月 | 1952 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年12月 | 2002 |