経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 年報 平成23年 年報
表 - 平成23年 生産・出荷・在庫統計 ２．製品年表 （57）半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003137124
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201101-201112
データ件数: 42件
公開日: 2013-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計項目A(機械)_年表 | 品目A（機械）_年表 | 値 |
|---|---|---|
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 549 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 3141 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 1230 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 1409 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 10488 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 9475 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 203 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 659 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 476 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 495 |
| 生産 数量 (台) | 半導体・IC測定器(38． 電気計測器及び電子応用装置より再掲、「半導体、ＦＰＤ装置」には計上していない。) | 7853 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 3360 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 17124 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 3717 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 10378 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 7839 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 8722 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 1654 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 19606 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 4458 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 5318 |
| 生産 重量 (t) | 半導体・IC測定器(38． 電気計測器及び電子応用装置より再掲、「半導体、ＦＰＤ装置」には計上していない。) | … |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 1334155 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 984632 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 31457 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 694263 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 142266 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 310220 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 92102 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 166810 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 349523 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 133210 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 146145 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 28551 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 41617 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体・IC測定器(38． 電気計測器及び電子応用装置より再掲、「半導体、ＦＰＤ装置」には計上していない。) | 123718 |