経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 年報 平成22年 年報
表 - 平成22年 生産・出荷・在庫統計 ２．製品年表 （57）半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003140578
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201001-201012
データ件数: 42件
公開日: 2012-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計項目A(機械)_年表 | 品目C（機械）_年表 | 値 |
|---|---|---|
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 474 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 3004 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 1338 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 1205 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 13081 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 10294 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 123 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 633 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 364 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 502 |
| 生産 数量 (台) | 半導体・IC測定器(38． 電気計測器及び電子応用装置より再掲、「半導体、ＦＰＤ装置」には計上していない。) | 22988 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 3083 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 15258 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 4083 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 9512 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 10600 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 10663 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 968 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 13292 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 4740 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 7536 |
| 生産 重量 (t) | 半導体・IC測定器(38． 電気計測器及び電子応用装置より再掲、「半導体、ＦＰＤ装置」には計上していない。) | … |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 1327236 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 970403 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 27604 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 626905 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 157382 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 247614 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 118515 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 197379 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 356833 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 97599 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 170430 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 38666 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 50138 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体・IC測定器(38． 電気計測器及び電子応用装置より再掲、「半導体、ＦＰＤ装置」には計上していない。) | 119160 |