経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 機械統計 年報 平成22年 年報
表 - 平成22年 生産・出荷・在庫統計 １．製品統計表（時系列） （57）半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003140606
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201001-201012
データ件数: 897件
公開日: 2012-03-31
最終更新日: 2025-04-14
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計項目A(機械)_統計表 | 品目C（機械）_統計表 | 年月（期付） | 値 |
|---|---|---|---|
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成18年 | 677 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成19年 | 761 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成20年 | 554 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成21年 | 225 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 | 474 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成20年度 | 422 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成21年度 | 256 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 94 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 104 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 149 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 127 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年1月 | 20 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年2月 | 20 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年3月 | 54 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年4月 | 28 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年5月 | 41 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年6月 | 35 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年7月 | 44 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年8月 | 46 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年9月 | 59 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年10月 | 37 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年11月 | 46 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年12月 | 44 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成18年 | 4888 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成19年 | 5294 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成20年 | 2729 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成21年 | 1253 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 | 3004 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成20年度 | 2002 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成21年度 | 1603 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 670 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 648 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 805 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 881 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年1月 | 181 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年2月 | 206 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年3月 | 283 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年4月 | 204 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年5月 | 208 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年6月 | 236 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年7月 | 230 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年8月 | 263 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年9月 | 312 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年10月 | 252 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年11月 | 282 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年12月 | 347 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成18年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成19年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成20年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成21年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成20年度 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成21年度 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年1月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年2月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年3月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年4月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年5月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年6月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年7月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年8月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年9月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年10月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年11月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年12月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成18年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成19年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成20年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成21年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成20年度 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成21年度 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年1月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年2月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年3月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年4月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年5月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年6月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年7月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年8月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年9月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年10月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年11月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年12月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成18年 | 1643 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成19年 | 1801 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成20年 | 883 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成21年 | 458 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 | 1338 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成20年度 | 651 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成21年度 | 660 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 317 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 275 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 364 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 382 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年1月 | 74 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年2月 | 108 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年3月 | 135 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年4月 | 91 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年5月 | 94 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年6月 | 90 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年7月 | 108 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年8月 | 124 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年9月 | 132 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年10月 | 118 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年11月 | 127 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年12月 | 137 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成18年 | 2392 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成19年 | 2538 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成20年 | 1308 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成21年 | 526 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 | 1205 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成20年度 | 921 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成21年度 | 638 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 238 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 284 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 324 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 359 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年1月 | 82 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年2月 | 60 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年3月 | 96 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年4月 | 87 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年5月 | 98 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年6月 | 99 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年7月 | 83 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年8月 | 101 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年9月 | 140 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年10月 | 93 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年11月 | 112 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年12月 | 154 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成18年 | 13995 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成19年 | 13480 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成20年 | 9650 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成21年 | 5089 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 | 13081 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成20年度 | 6970 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成21年度 | 7086 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 2572 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 3623 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 3861 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 3025 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年1月 | 716 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年2月 | 732 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年3月 | 1124 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年4月 | 1239 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年5月 | 1023 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年6月 | 1361 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年7月 | 1145 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年8月 | 1266 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年9月 | 1450 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年10月 | 1125 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年11月 | 1022 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年12月 | 878 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成18年 | 13253 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成19年 | 10929 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成20年 | 5940 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成21年 | 3649 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 | 10294 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成20年度 | 4240 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成21年度 | 5663 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 2471 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 2448 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 2684 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 2691 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年1月 | 632 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年2月 | 878 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年3月 | 961 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年4月 | 800 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年5月 | 790 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年6月 | 858 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年7月 | 848 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年8月 | 1042 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年9月 | 794 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年10月 | 921 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年11月 | 873 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年12月 | 897 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成18年 | 272 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成19年 | 193 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成20年 | 205 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成21年 | 176 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 | 123 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成20年度 | 212 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成21年度 | 143 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 21 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 36 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 32 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 34 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年1月 | 2 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年2月 | 8 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年3月 | 11 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年4月 | 17 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年5月 | 12 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年6月 | 7 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年7月 | 9 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年8月 | 10 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年9月 | 13 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年10月 | 14 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年11月 | 8 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年12月 | 12 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成18年 | 1238 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成19年 | 723 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成20年 | 1061 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成21年 | 675 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 | 633 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成20年度 | 1031 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成21年度 | 579 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 139 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 175 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 184 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 135 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年1月 | 38 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年2月 | 47 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年3月 | 54 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年4月 | 76 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年5月 | 68 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年6月 | 31 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年7月 | 72 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年8月 | 60 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年9月 | 52 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年10月 | 37 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年11月 | 41 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年12月 | 57 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成18年 | 587 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成19年 | 468 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成20年 | 478 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成21年 | 234 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 | 364 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成20年度 | 437 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成21年度 | 243 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 74 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 116 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 99 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 75 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年1月 | 26 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年2月 | 22 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年3月 | 26 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年4月 | 32 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年5月 | 32 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年6月 | 52 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年7月 | 31 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年8月 | 33 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年9月 | 35 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年10月 | 29 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年11月 | 14 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年12月 | 32 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成18年 | 1524 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成19年 | 552 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成20年 | 1026 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成21年 | 460 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 | 502 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成20年度 | 998 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成21年度 | 383 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 106 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 141 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 161 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 94 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年1月 | 23 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年2月 | 24 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年3月 | 59 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年4月 | 32 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年5月 | 48 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年6月 | 61 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年7月 | 33 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年8月 | 39 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年9月 | 89 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年10月 | 37 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年11月 | 21 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年12月 | 36 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成18年 | 3688 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成19年 | 4210 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成20年 | 3501 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成21年 | 1245 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 | 3083 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成20年度 | 2535 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成21年度 | 1503 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 632 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 673 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 857 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 922 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年1月 | 149 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年2月 | 143 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年3月 | 339 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年4月 | 216 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年5月 | 298 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年6月 | 160 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年7月 | 292 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年8月 | 237 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年9月 | 328 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年10月 | 275 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年11月 | 313 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年12月 | 334 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成18年 | 25971 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成19年 | 26431 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成20年 | 13745 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成21年 | 6507 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 | 15258 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成20年度 | 10234 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成21年度 | 8096 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 3301 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 3310 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 4051 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 4597 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年1月 | 886 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年2月 | 954 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年3月 | 1461 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年4月 | 1078 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年5月 | 1018 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年6月 | 1214 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年7月 | 1221 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年8月 | 1224 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年9月 | 1605 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年10月 | 1199 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年11月 | 1520 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年12月 | 1878 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成18年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成19年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成20年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成21年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成20年度 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成21年度 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年1月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年2月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年3月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年4月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年5月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年6月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年7月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年8月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年9月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年10月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年11月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年12月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成18年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成19年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成20年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成21年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成20年度 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成21年度 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年1月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年2月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年3月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年4月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年5月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年6月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年7月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年8月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年9月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年10月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年11月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年12月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成18年 | 3974 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成19年 | 4652 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成20年 | 2704 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成21年 | 1418 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 | 4083 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成20年度 | 2052 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成21年度 | 2032 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 971 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 795 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 1130 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 1187 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年1月 | 217 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年2月 | 331 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年3月 | 423 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年4月 | 264 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年5月 | 277 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年6月 | 254 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年7月 | 337 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年8月 | 362 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年9月 | 431 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年10月 | 327 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年11月 | 390 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年12月 | 471 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成18年 | 16977 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成19年 | 18861 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成20年 | 9367 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成21年 | 3876 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 | 9512 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成20年度 | 6688 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成21年度 | 4801 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 1888 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 2218 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 2487 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 2919 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年1月 | 577 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年2月 | 491 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年3月 | 821 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年4月 | 728 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年5月 | 688 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年6月 | 803 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年7月 | 729 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年8月 | 727 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年9月 | 1031 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年10月 | 728 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年11月 | 969 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年12月 | 1223 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成18年 | 13289 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成19年 | 12982 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成20年 | 8154 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成21年 | 3634 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 | 10600 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成20年度 | 5633 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成21年度 | 5266 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 2047 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 2705 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 3301 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 2546 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年1月 | 516 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年2月 | 649 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年3月 | 882 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年4月 | 807 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年5月 | 833 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年6月 | 1066 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年7月 | 935 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年8月 | 1108 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年9月 | 1259 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年10月 | 1060 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年11月 | 845 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年12月 | 640 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成18年 | 8641 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成19年 | 8633 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成20年 | 5591 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成21年 | 3860 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 | 10663 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成20年度 | 4182 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成21年度 | 5989 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 2638 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 2591 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 2681 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 2753 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年1月 | 639 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年2月 | 1004 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年3月 | 995 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年4月 | 859 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年5月 | 808 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年6月 | 924 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年7月 | 752 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年8月 | 1072 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年9月 | 857 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年10月 | 872 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年11月 | 1003 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年12月 | 877 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成18年 | 1562 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成19年 | 1685 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成20年 | 2261 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成21年 | 1271 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 | 968 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成20年度 | 2214 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成21年度 | 1113 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 162 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 281 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 313 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 213 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年1月 | 5 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年2月 | 64 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年3月 | 94 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年4月 | 128 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年5月 | 86 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年6月 | 67 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年7月 | 124 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年8月 | 116 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年9月 | 72 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年10月 | 93 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年11月 | 54 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年12月 | 66 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成18年 | 17635 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成19年 | 13054 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成20年 | 12941 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成21年 | 12414 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 | 13292 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成20年度 | 15439 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成21年度 | 10383 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 3529 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 2912 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 3676 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 3175 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年1月 | 831 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年2月 | 941 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年3月 | 1757 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年4月 | 1514 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年5月 | 977 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年6月 | 421 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年7月 | 1279 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年8月 | 1248 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年9月 | 1150 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年10月 | 903 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年11月 | 760 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年12月 | 1511 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成18年 | 8791 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成19年 | 6873 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成20年 | 5588 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成21年 | 4385 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 | 4740 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成20年度 | 5359 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成21年度 | 3876 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 1053 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 949 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 1279 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 1459 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年1月 | 400 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年2月 | 225 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年3月 | 428 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年4月 | 225 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年5月 | 367 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年6月 | 357 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年7月 | 501 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年8月 | 311 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年9月 | 467 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年10月 | 729 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年11月 | 285 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年12月 | 445 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成18年 | 9274 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成19年 | 6980 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成20年 | 9632 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成21年 | 6343 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 | 7536 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成20年度 | 10227 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成21年度 | 4858 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 1460 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 2039 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 2684 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 1353 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年1月 | 165 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年2月 | 220 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年3月 | 1076 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年4月 | 722 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年5月 | 621 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年6月 | 696 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年7月 | 686 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年8月 | 479 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年9月 | 1519 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年10月 | 650 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年11月 | 257 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年12月 | 446 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成18年 | 1889406 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成19年 | 1864143 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成20年 | 1331276 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成21年 | 761482 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年 | 1327236 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成20年度 | 1143022 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成21年度 | 822143 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 287573 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 297304 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 367757 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 374602 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年1月 | 65647 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年2月 | 97015 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年3月 | 124911 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年4月 | 106421 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年5月 | 84447 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年6月 | 106436 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年7月 | 114709 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年8月 | 107416 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年9月 | 145632 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年10月 | 113551 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年11月 | 122322 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成22年12月 | 138729 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成18年 | 1309951 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成19年 | 1504209 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成20年 | 856075 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成21年 | 437676 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年 | 970403 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成20年度 | 640280 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成21年度 | 551544 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 209214 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 214125 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 267090 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 279974 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年1月 | 48607 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年2月 | 69977 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年3月 | 90630 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年4月 | 71300 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年5月 | 60986 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年6月 | 81839 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年7月 | 82606 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年8月 | 79399 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年9月 | 105085 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年10月 | 76572 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年11月 | 97848 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成22年12月 | 105554 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成18年 | 46880 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成19年 | 51420 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成20年 | 33096 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成21年 | 11874 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 | 27604 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成20年度 | 22868 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成21年度 | 14582 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 5525 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 5960 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 8114 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 8005 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年1月 | 1363 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年2月 | 1340 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年3月 | 2822 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年4月 | 1776 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年5月 | 2636 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年6月 | 1548 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年7月 | 2451 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年8月 | 2409 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年9月 | 3254 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年10月 | 2202 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年11月 | 2828 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成22年12月 | 2975 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成18年 | 920827 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成19年 | 1105965 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成20年 | 592935 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成21年 | 298367 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 | 626905 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成20年度 | 452827 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成21年度 | 356846 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 130833 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 133602 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 170854 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 191616 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年1月 | 32809 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年2月 | 44647 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年3月 | 53377 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年4月 | 43626 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年5月 | 36640 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年6月 | 53336 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年7月 | 55617 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年8月 | 50813 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年9月 | 64424 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年10月 | 53106 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年11月 | 63183 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成22年12月 | 75327 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成18年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成19年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成20年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成21年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成20年度 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成21年度 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年1月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年2月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年3月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年4月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年5月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年6月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年7月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年8月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年9月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年10月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年11月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成22年12月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成18年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成19年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成20年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成21年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成20年度 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成21年度 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年1月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年2月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年3月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年4月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年5月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年6月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年7月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年8月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年9月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年10月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年11月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成22年12月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成18年 | 166911 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成19年 | 223206 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成20年 | 110509 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成21年 | 58060 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 | 157382 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成20年度 | 83294 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成21年度 | 80857 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 37398 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 30098 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 44953 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 44933 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年1月 | 9685 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年2月 | 12417 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年3月 | 15296 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年4月 | 10327 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年5月 | 9875 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年6月 | 9896 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年7月 | 13238 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年8月 | 13627 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年9月 | 18088 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年10月 | 12366 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年11月 | 15220 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成22年12月 | 17347 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成18年 | 406794 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成19年 | 439223 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成20年 | 228125 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成21年 | 101683 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 | 247614 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成20年度 | 161888 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成21年度 | 128650 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 49233 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 56447 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 64422 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 77512 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年1月 | 16412 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年2月 | 12533 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年3月 | 20288 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年4月 | 20833 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年5月 | 18310 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年6月 | 17304 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年7月 | 18401 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年8月 | 19111 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年9月 | 26910 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年10月 | 18800 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年11月 | 23881 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成22年12月 | 34831 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成18年 | 153967 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成19年 | 153225 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成20年 | 90826 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成21年 | 40949 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 | 118515 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成20年度 | 63376 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成21年度 | 59019 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 23450 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 30008 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 37136 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 27921 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年1月 | 5809 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年2月 | 6891 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年3月 | 10750 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年4月 | 10279 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年5月 | 8875 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年6月 | 10854 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年7月 | 11140 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年8月 | 11898 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年9月 | 14098 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年10月 | 10897 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年11月 | 8813 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成22年12月 | 8211 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成18年 | 188277 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成19年 | 193599 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成20年 | 139218 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成21年 | 86486 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 | 197379 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成20年度 | 101209 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成21年度 | 121097 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 49406 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 44555 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 50986 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 52432 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年1月 | 8626 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年2月 | 17099 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年3月 | 23681 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年4月 | 15619 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年5月 | 12835 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年6月 | 16101 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年7月 | 13398 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年8月 | 14279 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年9月 | 23309 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年10月 | 10367 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年11月 | 23024 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成22年12月 | 19041 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成18年 | 579455 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成19年 | 359934 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成20年 | 475201 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成21年 | 323806 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年 | 356833 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成20年度 | 502742 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成21年度 | 270599 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 78359 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 83179 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 100667 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 94628 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年1月 | 17040 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年2月 | 27038 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年3月 | 34281 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年4月 | 35121 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年5月 | 23461 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年6月 | 24597 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年7月 | 32103 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年8月 | 28017 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年9月 | 40547 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年10月 | 36979 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年11月 | 24474 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成22年12月 | 33175 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成18年 | 163093 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成19年 | 90741 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成20年 | 132709 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成21年 | 89506 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 | 97599 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成20年度 | 141092 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成21年度 | 72386 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 17725 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 19582 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 29051 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 31241 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年1月 | 317 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年2月 | 7420 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年3月 | 9988 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年4月 | 8556 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年5月 | 6982 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年6月 | 4044 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年7月 | 6852 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年8月 | 8977 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年9月 | 13222 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年10月 | 12894 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年11月 | 8350 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成22年12月 | 9997 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成18年 | 207389 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成19年 | 146653 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成20年 | 180815 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成21年 | 144665 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 | 170430 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成20年度 | 208356 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成21年度 | 123014 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 41049 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 41082 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 46689 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 41610 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年1月 | 10526 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年2月 | 14484 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年3月 | 16039 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年4月 | 19678 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年5月 | 9870 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年6月 | 11534 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年7月 | 18297 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年8月 | 13821 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年9月 | 14571 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年10月 | 14559 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年11月 | 10827 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成22年12月 | 16224 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成18年 | 81931 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成19年 | 66922 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成20年 | 60517 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成21年 | 32810 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 | 38666 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成20年度 | 53668 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成21年度 | 29551 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 8565 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 8249 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 10247 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 11605 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年1月 | 2907 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年2月 | 2196 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年3月 | 3462 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年4月 | 1956 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年5月 | 2420 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年6月 | 3873 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年7月 | 3784 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年8月 | 2115 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年9月 | 4348 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年10月 | 4919 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年11月 | 3295 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成22年12月 | 3391 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成18年 | 127042 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成19年 | 55618 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成20年 | 101160 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成21年 | 56825 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 | 50138 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成20年度 | 99626 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成21年度 | 45648 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 1 ～ 3 月 | 11020 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 4 ～ 6 月 | 14266 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 7 ～ 9 月 | 14680 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年 10 ～ 12 月 | 10172 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年1月 | 3290 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年2月 | 2938 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年3月 | 4792 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年4月 | 4931 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年5月 | 4189 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年6月 | 5146 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年7月 | 3170 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年8月 | 3104 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年9月 | 8406 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年10月 | 4607 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年11月 | 2002 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成22年12月 | 3563 |