経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 年報 機械統計編 平成27年 年報
表 - 平成27年 生産・出荷・在庫統計 １．製品年表【はん用・生産用・業務用機械】 （57）半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003168686
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201501-201512
データ件数: 39件
公開日: 2016-12-28
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計項目A(機械)_年表 | 品目A（機械）_年表 | 値 |
|---|---|---|
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 197 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 3049 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 1332 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 1284 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 9038 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 13952 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 194 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 709 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 338 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 361 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 705 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 16969 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 4147 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 9794 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 6868 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 9910 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 1544 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 21918 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 4506 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 2547 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 1299898 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 1001770 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 13748 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 727686 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 173785 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 329474 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 92157 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 168179 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 298128 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 113391 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 132565 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 25285 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 26887 |