経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 年報 機械統計編 平成27年 年報
表 - 平成27年 生産・出荷・在庫統計 ２．製品統計表（時系列）【はん用・生産用・業務用機械】 （57）半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003168735
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201501-201512
データ件数: 897件
公開日: 2016-12-28
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計項目A(機械)_統計表 | 品目D（機械）_統計表 | 年月（期付） | 値 |
|---|---|---|---|
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 | 549 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 | 239 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成25年 | 221 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成26年 | 203 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年 | 197 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成25年度 | 224 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成26年度 | 204 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 53 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 62 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 50 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 32 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年1月 | 14 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年2月 | 11 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年3月 | 28 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年4月 | 21 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年5月 | 22 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年6月 | 19 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年7月 | 18 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年8月 | 18 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年9月 | 14 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年10月 | 5 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年11月 | 10 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年12月 | 17 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 | 3141 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 | 2492 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成25年 | 2453 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成26年 | 2890 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年 | 3049 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成25年度 | 2842 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成26年度 | 2869 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 957 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 711 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 791 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 590 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年1月 | 286 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年2月 | 287 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年3月 | 384 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年4月 | 204 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年5月 | 227 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年6月 | 280 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年7月 | 300 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年8月 | 256 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年9月 | 235 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年10月 | 184 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年11月 | 178 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年12月 | 228 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成25年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成26年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成25年度 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成26年度 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年 1 ～ 3 月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年 4 ～ 6 月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年 7 ～ 9 月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年 10 ～ 12 月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年1月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年2月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年3月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年4月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年5月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年6月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年7月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年8月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年9月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年10月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年11月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年12月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成25年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成26年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成25年度 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成26年度 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年 1 ～ 3 月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年 4 ～ 6 月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年 7 ～ 9 月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年 10 ～ 12 月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年1月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年2月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年3月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年4月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年5月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年6月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年7月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年8月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年9月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年10月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年11月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年12月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 | 1230 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 | 840 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成25年 | 869 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成26年 | 1177 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年 | 1332 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成25年度 | 1049 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成26年度 | 1263 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 454 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 310 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 330 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 238 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年1月 | 139 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年2月 | 145 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年3月 | 170 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年4月 | 99 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年5月 | 93 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年6月 | 118 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年7月 | 134 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年8月 | 99 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年9月 | 97 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年10月 | 73 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年11月 | 74 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年12月 | 91 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 | 1409 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 | 1279 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成25年 | 1267 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成26年 | 1250 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年 | 1284 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成25年度 | 1412 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成26年度 | 1159 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 383 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 288 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 349 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 264 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年1月 | 115 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年2月 | 109 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年3月 | 159 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年4月 | 75 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年5月 | 91 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年6月 | 122 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年7月 | 126 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年8月 | 121 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年9月 | 102 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年10月 | 83 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年11月 | 76 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年12月 | 105 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 | 10488 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 | 9301 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成25年 | 8001 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成26年 | 9223 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年 | 9038 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成25年度 | 8393 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成26年度 | 9637 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 2484 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 2530 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 2083 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 1941 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年1月 | 673 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年2月 | 778 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年3月 | 1033 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年4月 | 827 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年5月 | 790 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年6月 | 913 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年7月 | 691 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年8月 | 654 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年9月 | 738 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年10月 | 613 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年11月 | 655 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年12月 | 673 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 | 9475 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 | 9285 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成25年 | 10632 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成26年 | 12116 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年 | 13952 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成25年度 | 10911 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成26年度 | 12459 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 3309 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 3598 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 3814 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 3231 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年1月 | 807 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年2月 | 1149 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年3月 | 1353 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年4月 | 1164 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年5月 | 1068 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年6月 | 1366 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年7月 | 1535 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年8月 | 1106 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年9月 | 1173 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年10月 | 1034 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年11月 | 1022 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年12月 | 1175 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 | 203 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 | 110 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成25年 | 143 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成26年 | 105 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年 | 194 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成25年度 | 144 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成26年度 | 106 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 36 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 43 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 56 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 59 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年1月 | 9 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年2月 | 9 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年3月 | 18 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年4月 | 12 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年5月 | 18 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年6月 | 13 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年7月 | 15 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年8月 | 18 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年9月 | 23 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年10月 | 16 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年11月 | 24 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年12月 | 19 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 | 659 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 | 506 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成25年 | 609 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成26年 | 652 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年 | 709 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成25年度 | 640 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成26年度 | 670 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 170 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 222 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 181 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 136 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年1月 | 60 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年2月 | 44 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年3月 | 66 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年4月 | 67 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年5月 | 78 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年6月 | 77 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年7月 | 57 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年8月 | 51 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年9月 | 73 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年10月 | 47 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年11月 | 49 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年12月 | 40 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 | 476 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 | 332 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成25年 | 256 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成26年 | 209 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年 | 338 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成25年度 | 262 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成26年度 | 219 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 80 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 105 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 83 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 70 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年1月 | 38 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年2月 | 20 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年3月 | 22 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年4月 | 31 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年5月 | 36 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年6月 | 38 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年7月 | 35 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年8月 | 27 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年9月 | 21 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年10月 | 20 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年11月 | 21 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年12月 | 29 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 | 495 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 | 305 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成25年 | 395 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成26年 | 402 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年 | 361 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成25年度 | 400 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成26年度 | 383 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 84 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 73 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 103 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 101 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年1月 | 29 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年2月 | 23 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年3月 | 32 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年4月 | 19 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年5月 | 27 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年6月 | 27 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年7月 | 19 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年8月 | 39 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年9月 | 45 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年10月 | 34 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年11月 | 38 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年12月 | 29 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 | 3360 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 | 953 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成25年 | 670 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成26年 | 740 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年 | 705 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成25年度 | 717 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成26年度 | 753 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 172 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 205 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 193 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 136 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年1月 | 47 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年2月 | 27 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年3月 | 98 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年4月 | 68 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年5月 | 71 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年6月 | 66 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年7月 | 63 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年8月 | 75 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年9月 | 55 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年10月 | 7 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年11月 | 37 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年12月 | 91 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 | 17124 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 | 15306 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成25年 | 14530 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成26年 | 16420 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年 | 16969 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成25年度 | 16219 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成26年度 | 15940 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 4921 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 3952 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 4548 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 3547 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年1月 | 1517 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年2月 | 1444 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年3月 | 1959 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年4月 | 1068 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年5月 | 1291 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年6月 | 1594 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年7月 | 1859 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年8月 | 1348 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年9月 | 1341 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年10月 | 1040 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年11月 | 1095 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年12月 | 1413 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成25年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成26年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成25年度 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成26年度 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年 1 ～ 3 月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年 4 ～ 6 月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年 7 ～ 9 月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年 10 ～ 12 月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年1月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年2月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年3月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年4月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年5月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年6月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年7月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年8月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年9月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年10月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年11月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年12月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成25年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成26年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成25年度 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成26年度 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年 1 ～ 3 月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年 4 ～ 6 月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年 7 ～ 9 月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年 10 ～ 12 月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年1月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年2月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年3月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年4月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年5月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年6月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年7月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年8月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年9月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年10月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年11月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年12月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 | 3717 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 | 2495 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成25年 | 2422 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成26年 | 3542 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年 | 4147 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成25年度 | 2949 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成26年度 | 3800 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 1302 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 912 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 1071 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 862 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年1月 | 386 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年2月 | 456 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年3月 | 460 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年4月 | 287 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年5月 | 273 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年6月 | 352 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年7月 | 447 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年8月 | 328 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年9月 | 296 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年10月 | 265 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年11月 | 248 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年12月 | 349 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 | 10378 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 | 10071 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成25年 | 9857 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成26年 | 9615 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年 | 9794 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成25年度 | 10571 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成26年度 | 8999 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 2766 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 2230 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 2712 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 2086 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年1月 | 908 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年2月 | 750 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年3月 | 1108 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年4月 | 597 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年5月 | 681 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年6月 | 952 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年7月 | 1134 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年8月 | 790 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年9月 | 788 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年10月 | 622 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年11月 | 629 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年12月 | 835 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 | 7839 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 | 7046 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成25年 | 4704 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成26年 | 7306 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年 | 6868 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成25年度 | 5534 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成26年度 | 7622 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 1953 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 1989 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 1573 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 1353 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年1月 | 433 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年2月 | 602 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年3月 | 918 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年4月 | 630 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年5月 | 598 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年6月 | 761 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年7月 | 485 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年8月 | 493 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年9月 | 595 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年10月 | 356 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年11月 | 462 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年12月 | 536 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 | 8722 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 | 6770 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成25年 | 8322 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成26年 | 9696 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年 | 9910 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成25年度 | 9017 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成26年度 | 9727 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 2515 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 2590 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 2622 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 2185 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年1月 | 706 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年2月 | 821 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年3月 | 988 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年4月 | 866 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年5月 | 756 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年6月 | 968 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年7月 | 1004 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年8月 | 800 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年9月 | 817 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年10月 | 728 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年11月 | 698 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年12月 | 758 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 | 1654 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 | 904 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成25年 | 1382 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成26年 | 851 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年 | 1544 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成25年度 | 1464 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成26年度 | 806 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 231 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 237 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 573 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 504 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年1月 | 55 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年2月 | 62 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年3月 | 113 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年4月 | 59 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年5月 | 107 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年6月 | 71 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年7月 | 156 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年8月 | 168 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年9月 | 249 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年10月 | 95 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年11月 | 218 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年12月 | 191 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 | 19606 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 | 8370 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成25年 | 12399 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成26年 | 12809 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年 | 21918 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成25年度 | 13995 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成26年度 | 14522 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 6055 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 4412 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 6338 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 5112 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年1月 | 1289 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年2月 | 1743 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年3月 | 3024 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年4月 | 730 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年5月 | 2061 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年6月 | 1622 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年7月 | 1816 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年8月 | 2125 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年9月 | 2397 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年10月 | 1664 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年11月 | 1838 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年12月 | 1610 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 | 4458 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 | 2301 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成25年 | 3134 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成26年 | 2481 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年 | 4506 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成25年度 | 3513 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成26年度 | 3185 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 1879 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 1114 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 933 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 580 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年1月 | 853 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年2月 | 387 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年3月 | 639 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年4月 | 251 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年5月 | 313 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年6月 | 550 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年7月 | 188 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年8月 | 536 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年9月 | 210 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年10月 | 105 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年11月 | 156 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年12月 | 319 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 | 5318 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 | 1619 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成25年 | 2608 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成26年 | 2565 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年 | 2547 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成25年度 | 2707 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成26年度 | 2299 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 604 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 577 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 713 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 652 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年1月 | 257 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年2月 | 113 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年3月 | 234 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年4月 | 228 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年5月 | 160 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年6月 | 189 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年7月 | 94 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年8月 | 384 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年9月 | 235 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年10月 | 158 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年11月 | 291 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年12月 | 203 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成23年 | 1334155 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成24年 | 1017232 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成25年 | 1018606 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成26年 | 1139852 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年 | 1299898 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成25年度 | 1137993 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成26年度 | 1143170 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 362985 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 296708 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 336092 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 304113 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年1月 | 95578 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年2月 | 101573 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年3月 | 165834 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年4月 | 81048 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年5月 | 95976 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年6月 | 119684 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年7月 | 111784 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年8月 | 119917 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年9月 | 104391 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年10月 | 94618 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年11月 | 99203 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 (1～11) | 平成27年12月 | 110292 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成23年 | 984632 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成24年 | 819684 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成25年 | 790064 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成26年 | 934156 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年 | 1001770 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成25年度 | 893138 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成26年度 | 938058 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 293080 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 235700 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 252898 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 220092 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年1月 | 73862 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年2月 | 83444 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年3月 | 135774 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年4月 | 65946 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年5月 | 72295 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年6月 | 97459 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年7月 | 90926 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年8月 | 90286 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年9月 | 71686 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年10月 | 71918 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年11月 | 67577 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 (1～7) | 平成27年12月 | 80597 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成23年 | 31457 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成24年 | 13882 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成25年 | 16886 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成26年 | 13162 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年 | 13748 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成25年度 | 17310 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成26年度 | 13366 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 3701 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 4519 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 3889 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 1639 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年1月 | 803 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年2月 | 488 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年3月 | 2410 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年4月 | 1738 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年5月 | 1517 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年6月 | 1264 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年7月 | 1296 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年8月 | 1252 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年9月 | 1341 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年10月 | 208 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年11月 | 520 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 (1) | 平成27年12月 | 911 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成23年 | 694263 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成24年 | 588925 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成25年 | 586837 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成26年 | 669325 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年 | 727686 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成25年度 | 661828 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成26年度 | 670258 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 219517 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 162421 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 185064 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 160684 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年1月 | 54682 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年2月 | 65705 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年3月 | 99130 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年4月 | 42262 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年5月 | 51304 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年6月 | 68855 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年7月 | 68589 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年8月 | 64738 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年9月 | 51737 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年10月 | 50381 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年11月 | 47742 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 (2～5) | 平成27年12月 | 62561 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成23年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成24年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成25年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成26年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成25年度 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成26年度 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年 1 ～ 3 月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年 4 ～ 6 月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年 7 ～ 9 月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年 10 ～ 12 月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年1月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年2月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年3月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年4月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年5月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年6月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年7月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年8月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年9月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年10月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年11月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 (2) | 平成27年12月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成23年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成24年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成25年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成26年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成25年度 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成26年度 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年 1 ～ 3 月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年 4 ～ 6 月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年 7 ～ 9 月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年 10 ～ 12 月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年1月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年2月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年3月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年4月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年5月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年6月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年7月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年8月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年9月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年10月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年11月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 (3) | 平成27年12月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成23年 | 142266 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成24年 | 99722 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成25年 | 101552 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成26年 | 139057 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年 | 173785 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成25年度 | 121109 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成26年度 | 150954 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 53133 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 40419 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 45865 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 34368 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年1月 | 14620 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年2月 | 18588 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年3月 | 19925 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年4月 | 12409 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年5月 | 12252 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年6月 | 15758 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年7月 | 17897 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年8月 | 15105 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年9月 | 12863 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年10月 | 9819 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年11月 | 10871 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 (4) | 平成27年12月 | 13678 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成23年 | 310220 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成24年 | 303512 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成25年 | 307242 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成26年 | 314991 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年 | 329474 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成25年度 | 336450 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成26年度 | 302606 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 94868 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 75272 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 88773 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 70561 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年1月 | 27307 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年2月 | 28337 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年3月 | 39224 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年4月 | 20701 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年5月 | 20480 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年6月 | 34091 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年7月 | 32580 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年8月 | 29090 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年9月 | 27103 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年10月 | 21708 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年11月 | 22879 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 (5) | 平成27年12月 | 25974 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成23年 | 92102 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成24年 | 85290 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成25年 | 62123 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成26年 | 90505 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年 | 92157 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成25年度 | 71384 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成26年度 | 95860 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 25771 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 26510 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 21928 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 17948 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年1月 | 6357 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年2月 | 7031 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年3月 | 12383 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年4月 | 8097 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年5月 | 7443 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年6月 | 10970 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年7月 | 7180 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年8月 | 7503 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年9月 | 7245 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年10月 | 5557 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年11月 | 5868 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 (6) | 平成27年12月 | 6523 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成23年 | 166810 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成24年 | 131587 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成25年 | 124218 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成26年 | 161164 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年 | 168179 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成25年度 | 142616 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成26年度 | 158574 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 44091 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 42250 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 42017 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 39821 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年1月 | 12020 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年2月 | 10220 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年3月 | 21851 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年4月 | 13849 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年5月 | 12031 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年6月 | 16370 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年7月 | 13861 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年8月 | 16793 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年9月 | 11363 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年10月 | 15772 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年11月 | 13447 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (7) | 平成27年12月 | 10602 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成23年 | 349523 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成24年 | 197548 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成25年 | 228542 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成26年 | 205696 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年 | 298128 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成25年度 | 244855 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成26年度 | 205112 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 69905 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 61008 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 83194 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 84021 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年1月 | 21716 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年2月 | 18129 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年3月 | 30060 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年4月 | 15102 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年5月 | 23681 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年6月 | 22225 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年7月 | 20858 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年8月 | 29631 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年9月 | 32705 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年10月 | 22700 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年11月 | 31626 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 (8～11) | 平成27年12月 | 29695 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成23年 | 133210 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成24年 | 72190 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成25年 | 88853 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成26年 | 72045 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年 | 113391 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成25年度 | 90613 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成26年度 | 74247 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 26239 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 22149 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 31083 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 33920 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年1月 | 7230 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年2月 | 7870 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年3月 | 11139 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年4月 | 5750 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年5月 | 8749 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年6月 | 7650 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年7月 | 7820 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年8月 | 10193 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年9月 | 13070 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年10月 | 7868 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年11月 | 13609 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 (8) | 平成27年12月 | 12443 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成23年 | 146145 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成24年 | 85184 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成25年 | 95169 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成26年 | 89401 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年 | 132565 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成25年度 | 107365 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成26年度 | 87628 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 28708 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 27020 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 41301 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 35536 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年1月 | 8346 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年2月 | 6973 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年3月 | 13389 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年4月 | 6370 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年5月 | 11633 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年6月 | 9017 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年7月 | 10890 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年8月 | 14133 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年9月 | 16278 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年10月 | 11290 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年11月 | 11306 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 (9) | 平成27年12月 | 12940 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成23年 | 28551 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成24年 | 15843 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成25年 | 19794 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成26年 | 17122 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年 | 25285 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成25年度 | 21818 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成26年度 | 19334 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 9496 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 6400 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 5355 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 4034 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年1月 | 4371 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年2月 | 2121 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年3月 | 3004 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年4月 | 1630 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年5月 | 1757 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年6月 | 3013 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年7月 | 1394 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年8月 | 2878 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年9月 | 1083 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年10月 | 696 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年11月 | 1170 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 (10) | 平成27年12月 | 2168 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成23年 | 41617 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成24年 | 24331 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成25年 | 24726 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成26年 | 27128 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年 | 26887 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成25年度 | 25059 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成26年度 | 23903 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年 1 ～ 3 月 | 5462 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年 4 ～ 6 月 | 5439 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年 7 ～ 9 月 | 5455 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年 10 ～ 12 月 | 10531 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年1月 | 1769 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年2月 | 1165 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年3月 | 2528 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年4月 | 1352 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年5月 | 1542 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年6月 | 2545 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年7月 | 754 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年8月 | 2427 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年9月 | 2274 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年10月 | 2846 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年11月 | 5541 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） (11) | 平成27年12月 | 2144 |