経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 年報 機械統計編 平成25年 年報
表 - 平成25年 生産・出荷・在庫統計 １．製品年表【一般機械】 （57）半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003112914
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201301-201312
データ件数: 39 件
公開日: 2015-03-31
最終更新日: 2023-04-25
| メタデータコード | メタデータ名称 | コード | レベル | 名称 |
| cat01 | 統計項目A(機械)_年表 | 01000100 | 1 | 生産 数量 (台) |
| cat01 | 統計項目A(機械)_年表 | 01010100 | 1 | 生産 重量 (t) |
| cat01 | 統計項目A(機械)_年表 | 01030100 | 1 | 生産 金額 (百万円) |
| cat02 | 品目A（機械）_年表 | 571000000 | 1 | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 |
| cat02 | 品目A（機械）_年表 | 571100000 | 2 | 半導体製造装置 |
| cat02 | 品目A（機械）_年表 | 571110000 | 3 | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 |
| cat02 | 品目A（機械）_年表 | 571120000 | 3 | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 |
| cat02 | 品目A（機械）_年表 | 571121000 | 4 | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 |
| cat02 | 品目A（機械）_年表 | 571122000 | 4 | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 |
| cat02 | 品目A（機械）_年表 | 571123000 | 4 | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 |
| cat02 | 品目A（機械）_年表 | 571124000 | 4 | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 |
| cat02 | 品目A（機械）_年表 | 571130000 | 3 | 半導体製造装置 組立用装置 |
| cat02 | 品目A（機械）_年表 | 571140000 | 3 | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） |
| cat02 | 品目A（機械）_年表 | 571200000 | 2 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 |
| cat02 | 品目A（機械）_年表 | 571210000 | 3 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 |
| cat02 | 品目A（機械）_年表 | 571220000 | 3 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 |
| cat02 | 品目A（機械）_年表 | 571230000 | 3 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 |
| cat02 | 品目A（機械）_年表 | 571240000 | 3 | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） |