経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 年報 機械統計編 平成25年 年報
表 - 平成25年 生産・出荷・在庫統計 １．製品年表【一般機械】 （57）半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003112914
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201301-201312
データ件数: 39件
公開日: 2015-03-31
最終更新日: 2023-04-25
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計項目A(機械)_年表 | 品目A（機械）_年表 | 値 |
|---|---|---|
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 221 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 2453 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 869 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 1267 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 8001 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 10632 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 143 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 609 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 256 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 395 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 670 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 14530 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 2422 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 9857 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 4704 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 8322 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 1382 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 12399 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 3134 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 2608 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 1018606 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 790064 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 16886 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 586837 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 101552 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 307242 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 62123 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 124218 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 228542 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 88853 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 95169 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 19794 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 24726 |