経済産業省生産動態統計調査

経済産業省生産動態統計 機械統計 確報(1)生産・出荷・在庫統計

表 - 製品月表 57.半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003058570
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201012
データ件数: 42 件
公開日: 2011-03-31
最終更新日: 2023-04-25

メタデータコード メタデータ名称 コード レベル 名称
cat01 統計品目1-2(機械) 570000000 1 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置
cat01 統計品目1-2(機械) 570010000 2  半導体製造装置
cat01 統計品目1-2(機械) 570010100 3   ウエハ製造用装置
cat01 統計品目1-2(機械) 570010300 3   ウエハプロセス用処理装置
cat01 統計品目1-2(機械) 570010310 4    露光・描画用装置
cat01 統計品目1-2(機械) 570010320 4    エッチング装置
cat01 統計品目1-2(機械) 570010330 4    薄膜形成装置
cat01 統計品目1-2(機械) 570010399 4    その他の装置
cat01 統計品目1-2(機械) 570010500 3   組立用装置
cat01 統計品目1-2(機械) 570010700 3   半導体製造装置用関連装置(マスク・レチクル製造用装置を含む)
cat01 統計品目1-2(機械) 570030000 2  フラットパネル・ディスプレイ製造装置
cat01 統計品目1-2(機械) 570030010 3   ガラス基板製造用装置
cat01 統計品目1-2(機械) 570030020 3   ガラス基板プロセス用処理装置
cat01 統計品目1-2(機械) 570030030 3   パネル工程用装置
cat01 統計品目1-2(機械) 570030040 3   フラットパネル・ディスプレイ製造装置用関連装置(マスク・レチクル製造用装置を含む)
cat01 統計品目1-2(機械) 570040000 1 半導体・IC測定器
cat02 統計項目1-2(機械) 0001000 1 生産 数量(台)
cat02 統計項目1-2(機械) 0011000 1 生産 重量(t)
cat02 統計項目1-2(機械) 0012000 1 生産 金額(百万円)